特點：
1. 真正的非接觸式三維測量
2. 測量輪廓臺階高度范圍從小于1nm到高達10mm
3. 基于白光干涉的高精度定量共焦模式，自動調焦，垂直分辨率高達0.1nm
4. 高速掃描，無須制樣，無須真空，金屬非金屬均可，快速直觀，操作方便
5. *的綜合圖象處理軟件，致力于采集，分析，統計和可視化數據處理等
強大的軟件功能：
SPIP提供了二維分析、三維分析、表面紋理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、體積、角度計算、曲率計算、模擬一維分析、數據輸出、數據自動動態存儲、自定義數據顯示格式等。綜合繪圖軟件可以采集、分析、處理和可視化數據。表面統計的計算包括峰值和谷值分析。基于傅立葉變換的空間過濾工具使得高通、低通、通頻帶和帶阻能濾波器變的容易。多項式配置、數據配置、掃描、屏蔽和插值, 交互縮放。X-Y和線段剖面。三維線路、混合和固定繪圖。
主要技術參數
物鏡倍數: 50x，20x，10x，5x任意可選，zui多可同時搭載6枚物鏡
垂直分辨率 0.1nm, 0.02nm（高精度模式）
CCD相機像素：1024×1024
掃描范圍: 150mm x 150mm
