C61型氣體質量流量控制器采用毛細鋼管傳熱和溫差量熱原理測量氣體的質量流量，其中質量流量控制器可以對氣體的質量流量進行精確的控制。由于溫差量熱只和氣體的質量流量相關，所以氣體的溫度和壓力變化不會影響到測量值。
本型號產品的滿量程可以在30SLM到250SLM的范圍內任意定制，性能優秀，價格適中。
±2％F.S.的準確度
±0.2％F.S.的高重復精度
穩定性和可靠性高
概要
C61型氣體質量流量控制器和C61M型氣體質量流量計采用毛細鋼管傳熱和溫差量熱原理測量氣體的質量流量，其中質量流量控制器可以對氣體的質量流量進行精確的控制。由于溫差量熱只和氣體的質量流量相關，所以氣體的溫度和壓力變化不會影響到測量值。
本型號產品的滿量程可以在30SLM到250SLM的范圍內任意定制，性能優秀，價格適中。
特點
±2％F.S.的準確度
±0.2％F.S.的高重復精度
穩定性和可靠性高
滿量程可以在30SLM到250SLM的范圍內任意定制
可應用于大多數腐蝕性氣體
應用
晶體制備設備
混氣配氣設備
燃燒測試設備
主管道氣體的控制與計量
標定標準
標定氣體：氮氣(N2)
標定溫度和壓力： 溫度—273.15 K（0℃）
氣壓—101325 Pa（760mm Hg）
主要技術參數
基本型號 | C61 | C61M |
|---|---|---|
流量規格1(N2標定) | 0～30,50,100,150,200,250 SLM | 0～30,50,100,150,200,250 SLM |
調節閥類型 | 常閉式 | 無 |
量程比 | (2～100)％F.S. 或50:1 | |
流量分辨率 | 0.1％F.S. | |
準確度 | ±2％F.S. | |
線性 | ±2％F.S. | |
重復精度 | ±0.2％F.S. | |
響應時間 | ≤5sec | ≤3sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.3MPa (≤100SLM) | 0.02MPa～2MPa (≤100SLM) |
0.15～0.3MPa (＞100SLM) | 0.05MPa～2MPa (＞100SLM) | |
zui大耐壓 | 2MPa | |
工作環境溫度 | 5～45℃ | |
電纜接頭 | DB15pin(針形) | |
輸入輸出信號 | 4～20mA或1～5V | |
供電電源要求 | 24VDC(400mA) | 24VDC(100mA) |
對外單點泄漏率 | ≤1×10-9Pa·m3/S(He) | |
介質接觸材質 | 316，316L，密封填料 | |
密封材料 | 三元乙丙橡膠EPDM，氯丁橡膠CR，硅橡膠VMQ,氟橡膠FKM | |
管道接頭尺寸 | 雙卡套型接頭：3/8”、 1/2” 或φ8、φ10、φ12 mm | |
外形尺寸 | 長×寬×高：182×40×125 mm | 長×寬×高：157×40×125 mm |
凈重量 | 2.26kg | 1.16kg |
外型尺寸
