FTS超精密加工壓電定位平臺采用了無空行程的金屬彈性變形機構，以及5-6 倍的壓電陶瓷變形放大機構。并采用我公司的超精密加工技術進行生產制造。
FTS超精密加工壓電定位平臺特點：
?采用了*的數字位移傳感器，可實現高精度·高剛性·高速度的壓電陶瓷平臺。
?采用壓電陶瓷作為驅動機構，環控制時的行程為90μm?100μm，理論分辨率達1nm。和開環控制相比，閉環控制時的大行程會少20%左右。
?位置檢測采用了數字位移傳感器（頻率→數字變換方式的微小位移傳感器），閉環控制時的顯示分辨率為10nm。
?使用FINE系列控制器，可實現高速定位。
?重復驅動SFS-H（直動）系列平臺，可達10?15Hz的頻率。使用FINE-01γ的 模擬信號驅動時，可達25Hz。
應用：
光纖端面檢測 聚焦顯微成像電化學加工3D錫膏檢測 精密定位 精密加工光纖對接
指標
| 行程（開環控制時） | 90μm±15％ |
| 臺面尺寸 | 40×40mm |
| 驅動機構 | 壓電陶瓷 |
| 自重 | 0.28kg |
| 理論分辨率（開環時） | 1nm |
| 分辨率（閉環時） | 10nm |
| 直線性誤差 | ＜0.3％ |
| 垂直度（水平方向） | 1μm |
| 重復定位精度 | ＜0.1μm |
| 承載能力 | 9.8N（1.0kgf） |
| 微小位移傳感器 | 數字位移傳感器 |
| 適用電纜 | 電纜（2m）附屬 |
上海納動納米位移技術有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術開發區，是一家專業集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發，并致力于創新開發壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統的技術解決方案，滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業研發制造商。
上海納動納米位移技術有限貴公司自主研發的產品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉臺、納米級光束偏轉鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯微位移定位系統、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅動/控制器、高精度微位移測量系統等系列產品。
