一、brooks氣體質量流量計概覽
Brooks的數字與模擬熱式質量流量控制器具有業界一的性能—我們的許多產品都已連續工作了20年以上。我們的新型熱式質量流量設備在響應時間、精度、可重復性、調節比及自診斷方面均具有顯著的優勢。
我們的熱式質量流量產品還通過了多種防護（IP）認證，適用于多種危險場所。
二、brooks氣體質量流量計產品特點
· 較低的泄漏率
· 結構緊湊
· 內螺紋排氣口拋光處理
· 常閉閥
· 對安裝位置不敏感
三、brooks氣體質量流量計技術參數
· 數字信號/模擬信號輸出,可通過電腦直接顯示控制,可配單/四/八通道顯示控制器
· 介質:可選H2,O2等非腐蝕性氣體或SiO2,SO2等腐蝕性氣體
· 流量范圍:0.03-100slpm
· 量程比：50:1
· 大工作壓力: 1500psi(10.432Mpa)
· 氣路接頭: 1/4"VCR或1/4"SWG
· 電氣接頭:15 Pins D-Type或Card-edge
· 精度:±1%FS
· 重復性：0.25% of rate
· 響應時間：1-3s
· 差壓要求：3-6bar（壓差要求與介質、量程有關）
· 操作溫度范圍：5~65℃
· 輸出信號：0-5VDC或4-20mA
· 電源：+/-15V
?四、brooks氣體質量流量計其他系列產品
· SLA5800S---數字型氣體質量流量計/控制器
· SLA5800 enhanced series
· 4800 series
· 5800S series
· 5851EM
美國Brooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計產品的
生產。主要生產的產品有：金屬轉子流量計、玻璃轉子流量計、科氏力質量流量計、熱式質量流量計、
氣體質量流量控制器等。內置微處理器，智能化、數字化。
布魯克斯一代氣體質量流量計/流量控制器5800S系列
軟件組態，數字通訊，支持微軟Windows動態數據交換。
測量精度：0.2% F.S. 量程比： 50:1流量測量范圍：0.003L/Min - 6000 L/Min操作壓力：300Bar Max.
( 4500 psi )響應速度：0.2 Sec操作溫度：0 - 70 ℃ (32 - 158 ℉)材質：316配電：+24Vdc
各項技術參數】 Brooks SLA5800 series elastomer sealed digital thermal mass flow meters/controllers offer unparalleled flexibility and performance. They offer faster response, better accuracy (1% of reading) and improved control over traditional analog devices. Industry leading repeatability ensures a stable process even under changing conditions. Self diagnostics and alarms eliminate downtime. Digital communication includes FOUNDATION Fieldbus and DeviceNet.
