S22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一維θx軸偏轉(zhuǎn)鏡/快反鏡，柔性鉸鏈導(dǎo)向設(shè)計(jì)具有零摩擦及靜態(tài)阻力、優(yōu)異的導(dǎo)向精度。提供納弧度的分辨率 和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。光束偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)8mrad, 具有極快的響應(yīng)速度（毫秒至微秒級(jí)），非常適于動(dòng)態(tài)操作（例如跟蹤、掃描、漂移及 振動(dòng)消除）及光學(xué)和樣品的靜態(tài)定位。
特性：
• θx一維偏轉(zhuǎn) • 大偏轉(zhuǎn)角度4mrad • 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間 • 閉環(huán)定位精度高
典型應(yīng)用
• 圖像處理與穩(wěn)定 • 隔行掃描、抖動(dòng)
• 激光掃描 • 光束偏轉(zhuǎn)
• 光學(xué)濾波器/開關(guān)
結(jié)構(gòu)原理
小體積、高動(dòng)態(tài)、開環(huán)閉環(huán)可選平臺(tái)由一個(gè)鉸鏈支撐，并且由一個(gè)線性壓電促動(dòng)器推動(dòng)。鉸 鏈確定了軸心點(diǎn)，兼起到給壓電促動(dòng)器施加預(yù)緊力的作用。單個(gè) 鉸鏈單個(gè)促動(dòng)器設(shè)計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單、體積小巧、性價(jià)比高 等。如果角度偏轉(zhuǎn)時(shí)工作環(huán)境溫度變化范圍較大，推薦使用差分 驅(qū)動(dòng)壓電偏轉(zhuǎn)鏡。
壓電驅(qū)動(dòng)俯仰/偏轉(zhuǎn)臺(tái)（快反鏡/傾斜鏡，光束偏轉(zhuǎn)，相移 器）提供比音圈電機(jī)類產(chǎn)品更高的加速度及帶寬，θx軸偏轉(zhuǎn)范圍 為4mrad，偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)0.1μrad，開環(huán)閉環(huán)可選，閉環(huán)傳感器 包括應(yīng)變傳感器及電容傳感器，可獲得更高的定位精度。
超小體積設(shè)計(jì)，具有非常快的響應(yīng)速度，可帶載?15mm的 鏡片實(shí)現(xiàn)0.8ms的階躍時(shí)間。
S22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡技術(shù)參數(shù)：
型號(hào) | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | S22.U3S S22.U3K | 單位 |
運(yùn)動(dòng)自由度 | θx | ||
標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 2.5 | mrad±20% | |
大行程范圍（-20~150V） | 4 | mrad±20% | |
傳感器類型 | SGS/- | ||
閉/開環(huán)分辨率 | 0.3/0.1 | μrad | |
閉環(huán)線性度 | 0.2/- | %F.S. | |
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.15/- | %F.S. | |
空載諧振頻率 | 3 | kHz±20% | |
閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間 | 3/0.8 | ms±20% | |
閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 100 | Hz±20% |
行程 | 40 | ||
靜電容量 | 1.8 | μF±20% | |
材質(zhì) | 鋼 | ||
重量 | 80 | g±5% | |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。
