nXDS系列渦旋式干泵是下一代*無油的干式渦旋泵，并取代XDS系列。與傳統(tǒng) XDS 泵相比，nXDS 性能更強，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了的端部密封技術，顯著延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 泵可*進行現(xiàn)場維修。nXDS系列渦旋式干泵
一般清潔泵送應用
· 電子掃描顯微鏡 - SEM
· 射束線和高能物理
· 前級渦輪泵
· 超高速離心機
· 覆層
· 低溫學
· 脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂
· 蒸餾/萃取/過濾
· 冷凍干燥
· 熔爐
· 凝膠體干燥
· 實驗室工作臺上真空
· 氦檢漏儀
· 負載鎖和傳輸腔
· 稀有氣體再循環(huán)
· 稀有氣體回收
· 冷凍制造
· 研發(fā)
· 旋轉離心蒸發(fā)器
· SEM/FIB（離子束維修）
· 溶劑回收
· 表面科學儀器
特點優(yōu)勢：
· 真空外殼中不需要使用潤滑劑，*密封可保證*的清潔和干燥真空，防止交叉污染
· 無大氣壓到真空的軸封可使軸承*隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長
· 簡單的單側滾軸布置與創(chuàng)新的電機和軸承設計相結合，只需低程度的特殊工具，就能實現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務，因此可降低運行成本，盡可能延長正常運行時間
· 改進了電機和傳動效率，可降低功耗和運行成本
· *的接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實現(xiàn)遠程控制/監(jiān)視
