產品簡介:
ENOHK品牌潔凈烘箱(無塵烤箱)-EHC系列采用*的內外艙分體結構結合內循環風道設計,通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內部進行自凈化過濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫熱風烘烤環境。無塵烤箱廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室、航天航空等眾多工業領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。
產品特點:
●內膽:采用日制400番2mm厚SUS304#鏡面不銹鋼板材,經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE
●外殼:采用1.5mm厚 SS41#鋼板經酸洗磷化等防銹處理后噴塑
●保溫層:采用正廠一級100K級高密度超凈玻璃纖維材料保溫板,厚度80mm
●過濾器:進口耐高溫無邊框超高效過濾器H.E.P.A,》0.1μm顆粒過濾效率99.999%
●壓差計:進口壓差計,監控H.E.P.A工作狀態。
●溫控器:采用日本歐姆龍液晶數字型PID溫度控制器,控溫精度±0.5%
●溫度傳感器:日制進口CA感應棒±0.5%,精度高,誤差小
●鼓風裝置:采用大功率耐高溫長軸減震*馬達,大口徑不銹鋼渦輪扇葉,可在高溫環境下*穩定工作
●電熱發生器:覆套式無塵化電熱發生器
●風門調節:進口伺服電機自動風門裝置,自動控制風門開關,確保烘烤前后箱內密閉
●把手鉸鏈:采用鋅合金合頁鉸鏈門扣,易開易關。
●密封膠條:采用改性無氟硅橡膠材質,耐高溫,不易老化,密封性
●支撐腳輪:配置4只高承重萬象活動輪,前輪帶剎車,方便移動,同時配置4只水平調整腳杯
選配組件:
1.程序控溫:可配置程序型溫度控制器,大實現99段*99組程序控溫。
2.測試孔:可在側面加裝Φ35mm測試孔
3.電磁鎖:安全門控電磁鎖,確保烘烤過程箱門密閉,內部環境不被破壞。
4.多點溫度記錄:可配置多點溫度記錄儀,打印機或RS485接口,連接打印機或PC設備,監控記錄溫度狀況。
5.三色指示燈:工作狀態指示燈,待機,運行,故障閃燈光警示。
6.其它非標訂制:可根據客戶實際需求提供產品訂制
規格一覽表:
型號 | EHC-180 | EHC-270 | EHC-480 | EHC-980 |
溫度范圍 | RT(常溫)+10~200℃/ (可訂制250℃) | |||
溫度分辨率 | 0.1℃ | |||
溫度波動度 | ±1.0℃ | |||
溫度偏差 | ±1.0℃ | |||
溫度均勻性 | 150±3℃ 200±5℃ | |||
容積 | 180L | 270L | 480L | 980L |
內部尺寸 (W×D×H)mm | 600×500×600 | 600×500×900 | 800×600×1000 | 1400×700×1000 |
外部尺寸 (W×D×H)mm | 980×1240×1510 | 980×1240×1810 | 1180×1340×1910 | 1950×1055×1790 |
層板 | 2pcs | 2pcs | 3pcs | 3pcs |
電源電壓 | AC 380V 50HZ | |||
加熱功率 | 6KW | 10KW | 14W | 17KW |
潔凈等級 | Class10~100 | Class10~100 | Class10~100 | Class10~100 |