低真空CVD系統 （BTF-1500C-3ZL）
此款CVD系統是由多通道高精度的質量流量計、低真空機組以及1500度高溫管式爐組成。其廣
泛應用在半導體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、新工藝領域。
設備特點
此款CVD系統是由多通道高精度的質量流量計、低真空機組以及1500度高溫管式爐組成。其廣泛應用在半導體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、新工藝領域。
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加熱區參數：
| 爐管尺寸：Φ 50×700mm 加熱元件：硅碳棒 加熱區長度：160mm 推薦升溫速度：1400℃以下≤10℃/min，1400℃以上≤5℃/min 額定功率：2.5KW 外型尺寸： 420×295×520 mm 密封系統：爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭（包括精密針閥，指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭），端口可按實際使用擴展。 標準配件：剛玉管1根，不銹鋼密封法蘭1套，氟膠密封圈2套，氧化鋁管堵4只，高溫手套1副，坩堝鉤1支，小保險1個。 備注：可選配1200℃、1400℃、1600℃、1700℃等不同溫區的管式爐。 |
| 氣路系統參數：
| 質量流量計參考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可選） 準確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復精度：±0.2% 響應時間：≤10sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa 壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數字顯示 工作環境溫度：5~45高純氣體 內外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥：Φ6 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。 備注：可選配一路、兩路、三路、四路等以上質量流量計。 |
| 低真空系統參數：
| 抽速：10m³/h 極限真空度：5*10-1pa 電源：220V 50HZ 電機功率：0.4kw 進排氣連接口：KF25 用油量：1.1L 電機轉速：1440rpm 工作環境溫度：5-40℃ 噪音：≤56db 電阻真空計參數： 1.配用規管：電阻規， 2.測量范圍： 105～10-1Pa， 3.測量路數： 1路 4.控制范圍： 5×103～5×10-1Pa， 5.控制方式：繼電器觸點輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載， 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W |
