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UV光氧催化氧化廢氣處理設備，對有機揮發性廢氣，首要進行光解與催化氧化。光解首要是，通過高能UV紫外線對空氣中的氧氣發作分化作用，推進氧分子分化變成游離態的氧，因為游離態氧上的正負電子處于不平衡狀態，因而游離態氧極易與氧分子聯系生成臭氧，而臭氧的強氧化作用可以推進有機揮發性廢氣的分化。在UV高效設備內安裝著紫外線放電管，紫外線放電管發作的光子能量，可以高達647KJ/mol、742KJ/mol，如此高的光子能，可以迅速裂解小于該能量的有機揮發性廢氣的分子鍵，使其轉變為無機小分子物質。