IC6 薄膜沉積控制器
INFICON ModeLock 技術確保獲得、較穩定的速率和厚度測量分辨率，即使在速率極低的情況下
Auto Z 技術通過自動測定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測量的精度
支持多六個來源同時共沉積
產品介紹
功能IC6 薄膜沉積控制器
- INFICON ModeLock 技術確保獲得、穩定的速率和厚度測量分辨率，即使在速率極低的情況下
- Auto Z 技術通過自動測定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測量的精度
- 支持多六個來源同時共沉積
- 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況
- 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
- USB 數據存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數據記錄
- 強大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡單或復雜的系統（使用可擴展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器，14 TTL 輸出)，并充分利用邏輯功能（100 個邏輯語句）
- 6 個標準 DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監控
- 可容納多 50 個過程，每個過程 200 層，這些過程關聯到一起，總共可容納 10,000 層。
- 多路傳感器可平均分配為 8 個傳感器
- 4 米 XIU 選件能夠在大型系統中使用較長的真空傳感器電纜
- 可選以太網通信
- 符合 RoHS 標準
典型應用IC6 薄膜沉積控制器
- 光學鍍膜
規格
| 類型 | IC6 | |
|---|---|---|
| 測量性能 | ||
| 分辨率 (1) | 0.00433 Å/s/M | |
| 大晶體頻率偏移 | 1.5 MHz | |
| 晶體范圍和精確性（來自 100-ms 樣品） | 6.0 to 4.5 MHz +/- 0.0035 Hz | |
| 厚度精度 (2) | 0.5% | |
| 測量頻率 | 10 Hz | |
| 多個測量值平均 | 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed | |
| 設計功能 | ||
| Auto Z | yes | |
| 自動色調 | yes | |
| 共沉積 | yes (up to 6 sources) | |
| 過程配方和數據管理 | ||
| 材料計劃 | 32 | |
| 過程層（每個過程） | 200 | |
| 過程 | 50 (processes can be linked together) | |
| USB 存儲器 | yes | |
| 數據記錄 | yes | |
| 硬件功能 | ||
| 傳感器 (3) | ||
| 單 | 8 | |
| 雙 / CrystalTwo® | 4 / 8 (with CrystalTwo® Switch) | |
| CrystalSix® | 8 | |
| Crystal 12® | 8 | |
