便攜式微量氧分析儀按照光學系統劃分，可分為雙光路和單光路兩種：
（1）雙光路：從兩個相同光源或一個精確分配的單光源，發出兩路彼此平行的光束，分別通過分析氣室后和參比氣室后進入檢測器。
（2）單光路：從光源發出單束紅外光，利用切光裝置將紅外光調制成不同波長的光束，輪流通過分析氣室進入檢測器。
質譜分析法是利用不同離子在電場或者磁場中運動軌跡的不同，把離子按質荷比分離而得到質量圖譜，可以得到樣品的定性定量結果。質譜儀按照常用的質量分離器不同可分為掃描磁扇式磁場質譜儀和四極質譜儀，飛行時間質譜儀等幾種類型。目前工業應用上通常采用的是掃描磁扇式質譜儀。四極質譜儀的靈敏度高，適合實驗室或科學研究。掃描磁扇式的穩定性和重復性較高，適合工業應用。
便攜式微量氧分析儀
（1）儀器線性關系的驗證。首先，為確保儀器的正常運行，分析儀器作為計量儀器的一種，必須每年經過*按照國家制訂的規程進行檢測，方能許可使用。同時，每年還需要用系列標準氣體檢查儀器在整個線性范圍內的線性關系是否保持正常的狀態。否則盲目相信分析儀器（即使是進口儀器）的完好程度肯定會使錯誤的數據導致生產管理及質量管理上的失誤。
（2）誤差分析。在分析儀器的應用過程中，對于每一次測定結果的數據，必須作出誤差分析，以確定數據分析的真實性、可靠性和可信程度。一個合格的分析工作者是不會也不應該隨隨便便地把每次分析測定的結果上報或公布的。一般是在測定結果得出后，經過誤差分析，在確定分析數據的誤差總和小于規定的允許誤差時，才將這一個（或一組）數據視為正確測定結果上報或公布。否則，不準確的數據會給生產管理者帶來嚴重的不良后果。
（3）定量分析常用的儀器校正。氣體分析儀作為一種定量分析儀器，在做定量分析前必須使用標準氣進行校正（或標定）。標準氣一般是從國家*或合法工廠購買的，在特殊情況下，也可以自行配置（但要具有配置標準氣的資格和能力以及相關的設備）。標準氣保質期為一年，在使用標準氣校正分析儀器時，還必須深入了解正常手續和使用規律。如果購買和使用不合乎要求的標準氣，會導致分析數據的*偏差。如果對標準氣的使用要求不甚了解，也會因得不到準確數據結果，給空分生產帶來麻煩。
