MC系列氣體質量流量控制器
美國艾里卡特科技有限公司(Alicat Scientific Inc.) 于1991 年在美國成立，是杰出的質量流量和壓力解決方案廠商，隸屬于英國豪邁(Halma)集團環境與分析事業部，榮膺“年度子公司獎”、“業務拓展增長獎”和“豪邁創新獎”。
Alicat產品采用層流差壓式原理，擁有LFE技術，憑借航天級水準，長期支持美國航天局(NASA)、SpaceX火箭項目，并為科研及工業領域提供快捷、穩定的技術解決方案。
產品類型：氣體或液體質量流量計、質量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。
客戶行業：實驗科研、環境保護、生物醫藥、過程控制、能源化工、半導體以及相關的公共事業。
應用領域：計量檢測、泄漏測試、生物發酵、燃燒控制、真空鍍膜、光伏、燃料電池等。
響應式氣體流量控制，抑制壓力波動
性能好的質量流量控制器只需將流量保持在您的設定值。艾里卡特MC系列氣體質量流量控制器可快速達到新的設定值，并保持該設定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據您的應用參數為您定制閥門和PID調節功能，確保相關產品能快速實現穩定控制。
- 多功能。監控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
- 連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。
- 耐用。MC系列氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環境影響的耐受性，我們可為您的MFC構建IP66等級防護。
氣體噴射控制pH值
在跨度極寬的量程范圍內迅速調整并控制質量流量以符合不斷變化的應用需要。根據PLC或PC的數字反饋，實時更改流量設定值，保持過程工藝條件。
自定義氣體混合系統
艾里卡特的質量流量控制器非常適用于構建自定義氣體混合系統；在這種類型應用中，可充分發揮其固有的靈活性和適應性。
高溫質量流量控制
艾里卡特的遠程電子器件選項將電子器件與傳感器和流量儀表主體部分分隔開來。這允許流動的高溫氣體通過流量儀表的主體部分，且不會使控制器電子器件超出其設計溫度。
更多產品信息請查看質量流量計、質量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。
性能
- 可用量程：大0-5000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見零件編號標簽）
- 可調比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
- 標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數+0.2%滿量程）
- 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程）
- 可重復性：0.2%滿量程
- 標準質量流量控制器響應時間常數：50-100ms（若有PID調節功能，可縮短至25ms）
- 無需預熱時間
工作條件
- 兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
- 工作溫度：-10°C至+60°C
- 大內部壓力（靜態）：145 psig（160 psia）
- 耐受壓力：175 psig（190 psia）
包裝清單
- MC系列氣體質量流量控制器（電源需另行訂購）
- NIST可溯源校準證書
- 艾里卡特操作說明書
配件（需另行訂購）
- 過程端口接頭和過濾器
- 電源
- 通訊線纜和轉換線纜
- BB3和BB9多點式集線盒
- Flow Vision軟件
型號變體
- 低壓損型號，多60 psia（MCW系列）
- 高壓型號，160-320 psia（MCQ系列）
- 閥門內置（確保與SEMI端口長度*）型號（MCE系列）
- 配備氣動截止閥的型號，適合真空應用（MCV系列）
- 腐蝕性氣體型號（MCS系列，見下文）
閥門選項
您可以為您的MC系列氣體質量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預期過程條件下保持性能。
- MC系列—選配小型比例控制閥，適用于20 slpm及以下量程
- 具有PCA名稱的MC系列—選配高性能比例控制閥，適用于壓力較高的某些應用
- MCP系列—選配大孔徑的小型比例控制閥（對耐腐蝕系列產品不適用）
- MCH系列—選配錘頭狀配置，將兩個小型閥門并排成對，用作一個閥門。
- MCR系列—選配幾乎無摩擦的大型Rolamite比例閥，適用于50 slpm及以上流量
腐蝕性氣體（MCS系列）
MC系列氣體質量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置（即MCS系列）可供選擇。該配置中，我們將閥門升級為303不銹鋼閥門，傳感器升級為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級為FFKM。對于某些腐蝕性氣體的整個流程，需采用316L不銹鋼，在這種情況下，我們可以同時將滿量程為20slpm或更小流量計的閥門（PCA型）和流量儀表主體部分升級為316L材質。
結構選項
- 通訊協議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
- 顯示屏（單色或彩色，內置或面板安裝）
- 工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭）
- 彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）
性能選項
- 流量累加器
- 集成式電位計控制
- 高精度或自定義校準
