產品特性
· 同步AFM 和 SEM 成像
· 兼容市面上的主流SEM電鏡
· 超高分辨率形貌掃描
· 通過納米壓痕定量測量納米力
· 真空載鎖兼容
· 操作穩定性高,不受SEM電子束干擾
規格參數
應用案例
SEM-AFM圖像融合
SEM成像具有高橫向分辨率和掃描速率的優勢,結合AFM成像提供的三維形貌信息,可獲取新的而又全面的信息
亞納米成像分辨率
全閉環編碼系統確保在沒有圖像失真的情況下獲得超高形貌成像分辨率,同時獲取亞納米成像分辨率。
納米壓痕和拉伸測試
樣品的納米力學性能可以在該儀器中通過納米壓痕和納米拉伸測試試驗技術進行測量。在SEM電鏡成像下,可實時觀測壓痕和拉伸過程。軟件提供了內置的計算工具,用于分析和顯示獲取的觀測數據。
高真空環境/SEM兼容
結構緊湊的AFM兼容市面上大部分的SEM和FIB,并能夠在數秒內完成安裝和拆卸。系統允許很小的工作范圍(5mm),同時兼容標準的SEM分析技術(如EDS、EBSD、WSD)。