SF6（六氟化硫）氣體抽真空裝置適用于SF6電氣設備中六氟化硫氣體進行抽真空、充氣、回充、凈化及回收。
SF6（六氟化硫）氣體抽真空裝置主要優點：
（1）設計*，功能齊全，結構合理，操作簡潔明了。
（2）壓縮系統：采用SF6封閉壓縮機，無泄漏。
（3）抽真空系統采用旋片式真空泵，有自動防止返回油裝置。
（4）凈化系統采用日本CKD公司原理過濾器，過濾器采用電加熱及內裝高效吸附劑，凈化效果更顯著(無需頻繁更換吸附劑)。
（5）裝置電氣系統三相電源自動確認、斷相自動保護。
（6）裝置控制系統采用技術的SF6閥門
（7）貯存系統按用戶要求配置80L貯液罐。
（8）設備采用移動式。
技術參數：
1、回收
回收初壓力≤0.8MPa
回收終壓力≤50KPa
回收時間：對初壓力0.8MPa的1 m3 SF6氣體容積，回收至終壓力50KPa，回收時間小于2.5小時。
2、充氣
對初壓力為133Pa的1 m3 SF6氣體容積充至0.8MPa，充氣時間小于0.8小時。
3、抽真空
裝置極限真空度小于等于10 Pa
對初壓力為0.1MPa的1 m3 SF6氣體容積抽真空至133Pa所需時間小于1.0小時。
4、貯存
貯存容器容積0.015m3
名義液態貯存量50kg
高貯存壓力3.8 MPa
5、凈化
對含水量1000PPM（體積比）以下的SF6氣體，經本裝置一次回收凈化后，水份小于60PPM（重量比），油份小于10PPM（重量比）
