在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的極限真空度，因為系統的極限真空度決定了系統的工作真空度。一般來講，系統的極限真空度比系統的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。
檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內液體發生反應，泵系統將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產生的氣體量。
貝克真空泵在旋片式真空泵中的功效首要是冷卻、密封性和潤滑,在真空度較高時還起頂開自動排氣閥的功效。進油量對旋片式真空泵的真空度有一定的危害。進油量過少,形不成油封,保障不了封口功效,貝克真空泵的真空度就降低。進油量過少,滿足不了潤滑的標準,泵還將會導致超量損壞。進油量過多,泵務必把超量的油排出來, 起了類似于油泵的功效, 為此噪聲提升,耗費功率提升,發燙厲害,泵油的飽和蒸汽壓上升,黏度降低,油的密封功能減少,泵的真空度也就降低。比如一臺旋片式真空泵, 試制時進油孔沒有按圖加工,以至進油量過大,使泵氣溫高達83℃(室內溫度25℃),真空度也就達不到標準。然后把進油量適當降低,泵溫即降至65℃。為此覺得操縱進油量對提升泵的真空度有一定的影響。該真空系統的控制系統由*的PLC控制系統經過編程后組成,以觸摸屏為人機界面,實現對真空系統、工件行走、磁控靶、工藝設定和執行、報警保護系統等的全自動化控制。
