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AEROTECH 振鏡AGV14SPO
產品型號：AGV14SPO

Aerotech的AGV-SPO單樞軸檢流計掃描儀提供了傳統兩鏡振鏡掃描儀的替代產品。 AGV-SPO源自流行的AGV-HPO掃描儀，可為關鍵的激光微加工應用提供更大的視野并減少點畸變。
大視野，光斑失真更小
*的光學設計可有效控制光束入射光瞳，使其與X和Y掃描儀運動保持一致，從而增加了掃描儀系統的有效數值孔徑。這種設計直接為給定的焦距提供了更大的視野，并減少了整個工作區域上的光斑失真。這些優勢意味著AGV-SPO能夠更快，更一致地處理大型零件。
設計配置
AGV-SPO可提供多種光學涂層和聚焦光學器件，以支持各種常用的激光波長和焦距。為了滿足其他需求，Aerotech可以根據要求為AGV-SPO提供定制的光學元件和光學安裝功能。AGV-SPO可以配置有風冷鏡，水冷電機或兩者。這些主動冷卻功能有助于在存在由激光引起的熱干擾以及劇烈運動的情況下，保持工作平面的準確性。
高級編程功能

參數：
光束孔徑：14 mm
掃描角度：max.±20°
光束位移：35 mm
抖動（增量運動min.）：0.3 µradRMS
精度：50 µrad pk-pk
重復性：0.6 µradRMS
增益誤差：0.05 mrad
非線性：0.005％
跟蹤誤差：0 µsec
峰值加速度：60,000 m/s2
連續加速：20,000 m/s2
定位速度：50 m/s
處理速度：5 m/s5
跳躍和穩定時間，移動1 mm：700 µsec
穩定性
長期漂移
偏移：10 µrad/12 hrs
15 µrad/24 hrs
增益：10 ppm/24 hrs
熱漂移
偏移：20 µrad/°C
增益：1 ppm/°C
材料：鋁（黑色陽極氧化和藍色噴漆）
MTBF（平均*時間）：20,000
重量：5.1 kg
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