天津瑞利光電科技有限公司優勢經銷AEROTECH空氣軸承直驅旋轉平臺--ABRS
產品型號:ABRS150MP
AEROTECH空氣軸承直驅旋轉平臺--ABRS
關鍵字描述:Aerotech的ABRS系列旋轉氣浮載物臺以超薄的外形提供了角度定位,速度穩定性和誤差運動性能。
產品介紹:
直接驅動,無槽,無刷伺服電機
零齒槽電機, 速度穩定性
誤差運動和擺動性能
直聯式高精度旋轉編碼器
薄型平面設計
沒有機械接觸
Aerotech的ABRS系列旋轉氣浮載物臺以超薄的外形提供了角度定位,速度穩定性和誤差運動性能。ABRS旨在滿足晶圓檢查,高精度計量,X射線衍射系統,光學檢查和制造以及MEMS /納米技術設備制造的嚴格要求。
機械設計
ABRS設計具有大的空氣軸承表面,具有很高的剛度和承載能力,不僅產生 軸向和徑向誤差運動,而且產生 的傾斜誤差運動。所產生的面誤差運動明顯優于其他旋轉式空氣軸承工作臺和主軸, 受益于需要 平面性能的應用。
無刷直驅
為了更好的定位性能,ABRS系列采用了Aerotech的S系列無槽無刷電機。電機采用磁路設計,可產生高扭矩輸出,而產生的熱量 少。無槽設計本質上是零齒槽和無轉矩紋波。這使得ABRS位移臺非常適合需要低速或高速掃描速度的應用。
準確定位
光學編碼器是ABRS的標準配置。與Aerotech的反饋乘法器和控件配合使用時,分辨率可達到<0.03弧秒。
定制設計
定制版本的ABRS可用于費率表和慣性制導試驗臺應用。
參數:
寬度:150 mm
桌面直徑:128.1 mm
高度:80 mm
孔徑:8 mm
總行程:360°連續
雙向重復性:<2弧秒
負荷
軸向:8 kg
徑向:4 kg
傾斜:3 N-m
軸向誤差運動(同步):<175 nm
徑向誤差運動(同步):<450 nm
傾斜誤差運動(同步):<9.7 µrad(<2.0弧秒)
軸向誤差運動(異步):<20 nm
徑向誤差運動(異步):<20 nm
傾斜誤差運動(異步):<0.4 µrad(<0.08弧秒)
工作壓力:80 psig(5.5 bar)+ 0 psig(0.0 bar)/-10 psig(0.7 bar)
空氣消耗:<56.6 SLPM(<2 SCFM)
材料:鋁
表面:硬涂層(62洛氏硬度)
慣性卸載:3850 kg-mm2
總質量:4.8公斤
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