日本科賦樂KOFLOC-3660質量流量控制器的概述：
3660系列設計精密，成本較低。廣泛用于各個不同的領域從實驗室和研究開發項目到各種儀器設備的標準采用機種發揮了很好的實際效果，另外還有有各種衍生功能可選
日本科賦樂KOFLOC-3660質量流量控制器的性能參數
3660 | 3665 | |
量程(N2) | 10SCCM-20SLPM | 30-150SLPM |
精度 | ±1.0%FS | ±1.5%FS |
有效范圍 | 2- | 5- |
重復性 | ±0.5%FS | |
響應時間 | 2秒 | 3秒 |
動作壓差 | 50-300Kpa | 150-300Kpa |
另有低壓差、高壓差產品可選 | ||
耐壓 | 1.0Mpa | |
泄漏率 | 1*10-8pa·m3/s以下 | |
溫度范圍 | 5-45℃ | |
濕度范圍 | 10-90%RH(不能結露) | |
材質 | 本體SUS316、SUS316L、磁性材料等 | |
密封圈VITON，選配NBR或FKM | ||
電氣接口 | DB9 | |
模擬信號 | 0-5V輸入/輸出 | |
供電 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)250mA； | |
管路連接 | 標配1/4F9 | 標配3/8F9 |
選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | 選配1/2F9、3/8UJR、RC3/8 | |
重量 | 約1000g | 約1500g |
日本科賦樂KOFLOC質量流量控制器
金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m3/s以下
適用于高真空、半導體、劇毒、強腐蝕氣體環境下
±15VDC供電性能穩定，0-5V模擬信號更加通用
電氣連接
5400質量流量控制器 | |
量程(N2) | 10SCCM-20SLPM(另外50SLM) |
精度 | ±1.0%FS |
重復性 | ±0.2%FS |
響應時間 | 1秒以內 |
耐壓 | 1.0Mpa |
進口大壓力 | O.3Mpa |
動作壓差 | 0.05-0.3Mpa |
泄漏率 | 1*10-11pa·m3/s以下 |
溫度范圍 | 5-45℃ |
濕度范圍 | 10-90%RH(不能結露) |
材質 | 本體SUS316L |
密封圈SUS316L、PTFE | |
電氣接口 | DB9 |
模擬信號 | 0-5V輸入/輸出 |
供電 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA； |
管路連接 | 標配1/4UJR |
選配1/8UJR | |
重量 | 約1000g |
電氣連接
針腳/顏色 | 定義 |
1針腳/棕色 | 閥門全開/全閉 |
2針腳/白色 | 0-5V輸出 |
3針腳/紅色 | +15VDC |
4針腳/黑色 | 電源COM |
5針腳/黃色 | -15VDC |
6針腳/灰色 | 0-5V輸入 |
7針腳/綠色 | 輸出COM |
8針腳/蘭色 | 輸入COM |
9針腳/紫色 | 閥門電源輸出 |
日本科賦樂KOFLOC質量流量控制器使用注意：
一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。
四：耐壓1.0Mpa，進口大壓力3公斤。
五：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。
