HED型Wafer/ESD/TCP試驗機阪和電子工業

HED型Wafer/ESD/TCP試驗機阪和電子工業

Wafer ESD測試儀型號：HED-W5000M-WFC

在集成電路中安裝的保護電路的動作參數的收集和分析中，TLP測試裝置發揮了很大的作用，但是在半導體的微細化進程中，為了提高ESD抗藥性，需要進一步的保護電路的開發速度。

HED-W5000M-WFC測試儀可以觀測實際加入設備的ESD波形，因此在保護電路參數的收集、分析、開發速度的縮短上發揮了很大的作用。

TCP試驗機

型號：HED-5000VF

裝備著的測試模式。設置了施加脈沖寬度100ns/200ns的正常測試和將施加幅度縮小到1ns的VFTTLP（Very Fast TLP）的測試模式。

對ESD耐性的HBM/CDM測試的驗證有效?？梢酝ㄟ^標準裝備的示波器確認設備引腳的入射波和來自設備自旋的反射波。

此數據將被保存，并在監視器中顯示。用監視器可以跟蹤入射波/反射波的合計值、坐標回特性、Vf/Im測量的泄露測量值等。

保存的示波器數據允許高自由度運算。例如，對于改變了工序的晶體管的ON電壓和保護電路中流通的大電流值，可以通過重疊跟蹤來確認差分。

此外，還可與半自動程序等連接，使TLP測試自動化。

因為可以進行Wafer上施加的銷和芯片之間的自動移位、自動測量，所以測試效率大大提高。

型號：HED-5000-HC

現在，設備對于高集成、高頻、高耐壓的需求正在提高。

LD/LED ESD試驗機

應用→測量→自動重復獲取施加電壓的周期數據。激光二極管的輸出電平（功率）的觀測由光電二極管進行。顯示全部施加后的光輸出特性（IL），可以看到破壞的過程。2波長的激光二極管的測量一次就可以。具有泄露（Vf/Im，Im/Vf）測量功能，同時可以進行Vf/Im，Im/Vf測量。

隨著設備的精細化，LSI的電源電壓有下降的傾向。伴隨著這個，活動也有下降的傾向，作為試驗項目被重視。

另外，幾乎所有的LSI都是將I/O端子發出的噪音集中到電源和GND上的構造，因此很有可能引起電源/GND的急劇變動，因此確認其影響很重要。

以前，在ESD槍上施加脈沖的情況下，即使以正極性施加，LSI針上出現的對電源電壓的噪聲也會產生振動波形。

特別是在正方向和負方向的誤動作的斷點不同的情況下，盡管是正極性施加，但也有可能發生超過負方向的斷點而導致的誤動作。在HIT-5000中，通過加入矩形波，可以分別對正方向和負方向進行評價。

靜電可視化監視器

HSK-5008L靜電可視化監視器

手持式靜電可視化監視器。

配備8個線性傳感器，可輕松確認靜電的帶電狀態。

與PC連接后，可使用軟件確認靜電帶電狀態，確認數值數據，保存測量數據。

HSK-5064靜電可視化監視器

手持式靜電可視化監視器。

64個傳感器可以同時和高速測量100mm×100mm的寬區域。

本產品不會錯過區域內的帶電部分，還可以實時監控靜電的帶電形狀和經過時間的帶電動作。

與HSK-5008L相同，可使用軟件進行數據保管和再生。

HSK-V5000B靜電可視化監視器

安裝型酒吧類型的靜電可視化監視器。

安裝在測量對象物的附近，可以以面為單位監視時常帶電量，并且可以瞬間捕捉到大范圍的帶電量，是劃時代的裝置。（例）膠片、液晶面板、紙等

根據您的要求，可以靈活地定制測量范圍、傳感器的數量等。