小口徑熱式氣體質量流量計采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優勢的MEMS氣體質量流量計和流量控制器,靠性高、重復性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應時間較快,測量精度高,無需溫度壓力補償;主要用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制,能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。
小口徑熱式氣體質量流量計技術參數:
·口徑:DN3、DN6、DN8、DN10
·DN3流量范圍:50、100、300、500、1000sccm
·DN6—DN10流量范圍:1、2、5、10、20、30、40、50SLM
流量測量準確度:±1.5%FS,2.5%FS.
·測量介質溫度:0~50℃;
·工作壓力范圍:0.3MPa,0.6MPa.1.0MPa
·供電電源:24VDC±10%;
·輸出信號:4-20mA,RS485通訊;
·環境溫度:0~55℃;
·可帶兩點報警;
·流量顯示位數:瞬時流量為三位,累積流量10位;
·提供軟件進行20臺以內流量計集中控制、修改參數。