Turbo-V 2K-G 不僅僅是一臺泵。它是專門為等離子濺射工藝精心設計的分子泵系統。其葉片級數和泵的整體結構均經過優化,可以工作在高氬氣氛圍下和溫度*的環境中。此外,它還擁有內置的控制器件、一體化的放空和充氮氣保護閥以及免維護的軸承。所有這些特點使 Agilent Turbo-V 2K-G 成為鍍膜工業泵解決方案。
特性:
- 為薄膜沉積應用而專門設計的分子泵解決方案
- 現有的性能、的儀器
- 將*集成的方法用于提高系統效率和正常運行時間的裝置
- 將渦輪分子泵、驅動器件、電源、MoniTorr、吹掃氣裝置和通信裝置集于一身
- 通用電子器件接口和使用簡單的控制軟件模擬 I/O 信號和 RS232/RS485 接口為標準配置
- 安捷倫 Profibus 接口(可選)
- 采用安捷倫 T-Plus 軟件