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PIEZOSYSTEM JENA高精度旋轉平臺ROTOR
關鍵字描述：ROTOR 10是一軸高精度旋轉平臺。它提供高達11µmrad的長轉向和掃描范圍。
產品介紹：
開/閉環旋轉行程11/9 mrad
開/閉環0.2 / 0.02µrad分辨率
高平面行為
定義明確的旋轉中心軸
中心孔徑直徑3mm
溫度補償
ROTOR 10是一軸高精度旋轉平臺。它提供高達11µmrad的長轉向和掃描范圍。定義明確的旋轉軸位于中心。中心孔也允許軸向光束應用。由于這些平臺的FEA優化，您可以達到更高的動力學性能和較高的平面引導精度。即使在緊湊的設計中也可以承受高質量負載。優化還結合了好的溫度補償特性。固態撓性鉸鏈的精密整體式導向設計意味著該軌跡沒有機械游隙和摩擦力-所有壓電系統耶納級位移臺都具有這一功能。ROTOR 10也可與應變儀測量系統一起使用。
參數：
開環運動（±10）：11 mrad
電容：2.8 µF
解析度：開環0.02 µrad
共振頻率：500 Hz
附加負載50 g：250 Hz
附加負載100 g：200 Hz
附加負載300 g：100 Hz
剛度：0.06 Nm/µrad
負載：<50 N
旋轉誤差ΘX/ΘY：35/35µrad
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