標稱尺寸外徑8mm的微型微壓傳感器是專為空氣動力學研究流場分布設計的,它特別適用于模型尺寸較厚或模型中空的實驗工況。傳統的用毛細管引出壓力用掃描閥巡測的方式,因毛細管頻響的損失而測得的為穩態流場分布。現場直接布置微型傳感器的方法可獲得精確的動態流場分布。
CYG507的壓力敏感元件采用*的MEMS技術設計與制造。采用CAD技術的力敏結構與版圖設計優化了力學模型、雙島膜結構(低微壓)和梁膜島復合結構(超微壓)使得壓力敏感元件實現了低量程、高靈敏度和優良線性度的統一兼得,應力互補設計和無應力微封裝技術實現了量程下的良好穩定性。
CYG507為表差壓型,有探針型和螺紋安裝式兩種外形。探針型產品量程2.5kpa以上的外徑為6mm,2.5kpa以下的量程的外徑為8mm,長度均為18mm,螺紋型的螺紋為M10×1。外形見附圖。
CYG507采用敏感元件反面承壓,因此它有優良的介質兼容性。CYG507采用準齊平無管腔的封裝設計,因此有優良的動態特性,可用頻率即使是低量程500pa的品種可達1000Hz以上。
CYG507的可選量程為0.5、1、1.6、2.5、4、10、16、25kpa。
1、性能指標參數
指標/檔級 | 非線性精度 ±%FS | 遲滯重復性 %FS | 零位溫度系數 ×10-4FS /℃ | 靈敏度溫度系數 ×10-4FS /℃ | 零位時漂 <mv/8h |
JA | 0.5 | 0.2 | 5 | 5 | 0.3 |
JB | 0.2 | 0.2 | 3 | 3 | 0.2 |
2、滿量程輸出: 小值20mv 典型值60mv 大值100mv
3、輸入輸出阻抗:小值2 kΩ 典型值5 kΩ 大值8kΩ
4、輸入工作電流:2mA或1.5mA
5、工作溫度范圍:-40℃~+105℃
6、補償溫度范圍:-10℃~+60℃
7、過載能力: 額定量程的300%
8、外形尺寸圖: