高精度氣體流量控制器LF2000-D:LF系列的熱式氣體質量流量控制器在使用的時候:可以用萊峰科技提供的電纜線將氣體質量流量控制器與顯示儀或其他二次儀表連接,充分預熱15分鐘后觀察零點是否歸零,如果不歸零可以通過調節氣體質量流量控制器的調零電位器(在MFC進氣口側面)進行調零。數字式氣體質量流量控制器可以通過軟件進行調零。待零點穩定后打開氣源,再設定用戶所需要的流量值。
高精度氣體流量控制器LF2000-D:氣體質量流量控制器停止工作前需先將氣源斷開,閥控開關置于清洗位置,待氣體質量流量控制器通道內氣體排凈后切斷電源。如果用戶使用的氣體具有腐蝕性,應該使用干燥氮氣進行吹掃后再切斷氣源,后斷電。氣體質量流量控制器安裝通常為水平安裝,如客戶需要任意安裝,可向廠家說明,廠家將按照用戶的安裝方式進行標定。本氣體質量流量控制器的電磁調節閥只起流量調節作用,不可當截止閥使用,因此當氣體質量流量控制器不工作時,切斷氣源,將閥控開關置于清洗檔位,確保氣體質量流量控制器管道內無壓力。本氣體質量流量控制器可用于控制一般的腐蝕性氣體,但要求用戶確保系統低泄漏、不發生凝結反應、無微粒、無水汽、及時清洗、正確使用。正常使用時應保證進出氣兩端的壓差在技術指標范圍之內,低于或高于正常工作壓差都可導致氣體質量流量控制器工作不正常。
高精度氣體流量控制器LF2000-D:LF系列的熱式氣體質量流量控制器在進行調零使用的時候應該注意:調零時流量控制器中不得通氣;調零必須在開機預熱15分鐘以后進行,以待控制器零點的穩定,除調零單位器外,不得輕易調整其他電位器