　　日立*集團的企業理念是“以成為先端技術領域里提供高科技解決方案的*為目標”。在這個理念的指引下，將電子裝置系統、生命科學系統、信息電子系統、*產業材料系統等各個事業部門的“先端技術”推向世界的Z前線。

　　為了應對日新月異的技術革新和需求的多樣化，達成事業的化，日立*集團同時具有用先端技術開發制造新產品的制造功能和向提供優化解決方案的貿易公司機能，是一家在先端科技領域里向*更快、更好地提供產品和服務的性企業。

　　日立*集團Z重視的是在中國地區的事業戰略。我們在上海、北京、深圳、香港設立了獨資公司，這些地方分公司在中國的11個地區設有銷售和技術服務網點。同時在蘇州和大連還設有生產基地。日立*集團不但支持中國電子產業和高科技產業發展的半導體制造，而且提供各種解析設備，LCD制造和檢查設備，芯片貼裝設備等。在保障人民安全和健康的科學醫療領域，還提供各種解析、分析儀器及應用相關系統等*開發產品和相應的優質且完善的售后服務。此外，日立*集團從中國各地向*提供支持電子、高科技、汽車產業、環境和節能技術的各種新功能材料的采購解決方案，通過靈活利用網絡和其貿易公司功能，實現創造附加價值的事業模式。

　　日立*中國實業集團作為被大家所信賴的企業，在遵紀守法的同時，力爭創造新的價值，以“客戶*位為根本”開展工作，探求持續性發展，通過營銷活動為中國的高科技產業、環境及能源事業、社會基礎設施的安全、人民健康等方面的發展，不斷地做著積極的貢獻。衷心希望今后也能夠繼續得到大家的支持和厚愛。

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優異的高效分析性能微型采樣方法(已在日本和美國取得)已在半導體器件分析領域成為一款工具，它正迅速向更小制樣方向發展。僅用一小時左右即可獲得一個微小樣品，以便于STEM分析，其定位精度可達到0.1 m以下。

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微型采樣系統

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微型采樣系統

優異的高效分析性能

微型采樣方法(已在日本和美國取得)已在半導體器件分析領域成為一款工具，它正迅速向更小制樣方向發展。僅用一小時左右即可獲得一個微小樣品，以便于STEM分析，其定位精度可達到0.1 µm以下。

特點
系統配置實例
觀察事例

特點

聚焦離子束(FIB)微采樣裝置和聚焦離子束(FIB)微采樣方法

聚焦離子束(FIB)微柱狀制樣實例

一個微柱狀樣品，包含一個直接從半導體器件上準確地切割下來的分析點。改變入射聚焦離子束(FIB)的方向，把微樣品切割或加工成任意形狀。

系統配置實例

聚焦離子束-掃描透射電子顯微鏡系統

新開發的半導體裝置評估系統由FB2200聚焦離子束(FIB)系統和HD-2700 200 kV(STEM)掃描透射電子顯微鏡構成。從對材料缺陷(組織)的搜索到亞納米薄膜高精度結構分析，只要幾小時即可完成。

聚焦離子束-透射電子顯微鏡(掃描透射電子顯微鏡)(FIB-TEM(STEM))的樣品桿可互換共用

觀察事例

DRAM 觀察實例

針尖頂端的微柱狀樣品SEM像

微柱狀樣品的明場STEM像

關聯產品分類

場發射掃描電子顯微鏡 (FE-SEM)
透射電子顯微鏡 (TEM/STEM)

關鍵詞：電子顯微鏡顯微鏡

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