催化燃燒裝置主要由熱交換器、燃燒室、催化反應器、熱回收系統和凈化煙氣的排放煙囪等部分組成，如右圖所示。其凈化原理是：未凈化氣體在進入燃燒室以前，先經過熱交換器被預熱后送至燃燒室，在燃燒室內達到所要求的反應溫度，氧化反應在催化反應器中進行，凈化后煙氣經熱交換器釋放出部分熱量，再由煙囪排入大氣。
在催化劑的作用下，使有機廢氣中的碳氫化合物在溫度較低的條件下迅速氧化成水和二氧化碳，達到治理的目的。催化燃燒法處理工業有機廢氣是20世紀40年代末出現的技術。
催化燃燒設備之所以能達到理想的凈化效率，其實催化劑是重要的核心的技術，由于使用不同的催化劑所產生的效果差別很大，所以選擇合適的催化劑也非常的重要。目前催化燃燒法所使用的催化劑主要有三種:貴金屬催化劑、復合氧化物催化劑和稀土元素催化劑。催化燃燒法研究的重點和熱點仍然集中在催化劑的研究上，工作效率高、便宜、抗中毒的催化劑是關鍵。
催化燃燒設備是一種用于處理中低濃度揮發性有機廢氣的節能型環保裝置，將有機廢氣加熱到760℃以上，使廢氣中的VOC在氧化室氧化分化成CO2和H2O，而氧化產生的高溫氣體流經特制的陶瓷蓄熱體，使陶瓷體升溫而蓄熱，此蓄熱用于預熱后續進入的有機廢氣，從而節省廢氣升溫的燃料消耗。不過要把穩的是，催化燃燒設備蓄熱室放熱后應立即引入已處理合格的清潔排氣的一部分，對該蓄熱室結束掃除（以擔保VOC去除率在95%以上），只有待掃除完成后才能進入蓄熱程序。
催化燃燒裝置是指在催化劑作用下燃燒的裝置或設備。催化燃燒裝置的工作原理是利用催化劑將有機廢氣在較低的著火溫度下無焰燃燒，將有機廢氣分解成無毒的二氧化碳和水蒸氣。催化燃燒器電控系統由plc控制器、文字顯示、變頻器、點火器、紫外線傳感器、熱電偶等電子控制設備和風扇控制，零壓閥調節氣體與空氣的比例。
