一、臺式勻膠機旋涂儀產品簡介

WH-SC-01勻膠機適用于半導體工藝，制版及表面涂覆等工藝，可在科研、教育等單位作科研、教學之用。其總體設計由蘇州汶顥微流控技術股份有限公司獨立開發完成，具有獨立知識產權。

勻膠機快速啟動和穩定的轉速，能夠保證膠厚度的一致性和均勻性。采用全觸摸屏控制，三檔轉速。在啟動之后先在低速下進行勻膠，之后切換至高速下進行甩膠，轉速及相應的時間分別可調；實現啟停可控，轉速實時觀察等功能。儀器配置“安全開關”按鈕，當進行高速運轉時，關上上蓋后，“安全開關”啟動，運行過程中，上蓋不能打開。可以起到保護作用。

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二、臺式勻膠機旋涂儀技術參數

1.轉速：硅片4英寸（含）以內300-8500RPM；4-6英寸（含）以內300-6000RPM；

2.時間控制：1-32767s；

3.轉速穩定性：±1%；

4.膠的均勻性：±3%；

5.參數設定：觸摸屏設置參數；

6.適用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等勻膠；

7.電源輸入：AC220V±10V，50HZ；

8.功率：60W；

9.重量：13kg；

10.外形尺寸：300（W）*227（H）*350（D）；

11.工作環境：溫度0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %。

三、臺式勻膠機旋涂儀特征圖解

①防撞墊②勻膠托盤③觸摸屏④吸附盤⑤觀察窗⑥蓋板 ⑦抽氣孔⑧電源插口及開關

四、臺式勻膠機旋涂儀操作說明

（1）選擇合適的吸附盤（略小于樣本尺寸），將缺口對準螺釘安裝，吸附盤安裝時一定要插入到底。

（2）開啟電源，進入參數設置頁面。可分別設置三個階段轉速和時間，按工藝設置好轉速和時間，點擊“確定”。

（3）進入啟動儀器界面，放片，要注意放正。打開真空泵，點擊“吸盤”后點“啟動”，儀器開始運行。轉速和運行階段以及當前階段剩余時間可在顯示屏上實時觀察。

（4）滴膠，動作要快。在階段運轉時間內滴膠完畢，關上上蓋；隨時間推移自動運行第二和第三階段。關上上蓋后，安全開關啟動，必須等到儀器停止運行，上蓋才能被打開。

（5）電機停轉后，點擊脫盤，吸片停止。打開上蓋，取下片子。

（6）繼續勻膠時重復以上步驟。

（8）勻膠結束后，關上上蓋，切斷電源。

五、臺式勻膠機旋涂儀維護清洗

屬下列情況之一時，需要對抽氣室進行清洗

1.正常使用半個月的；

2.膠被吸入抽氣室的；

3.電機轉速不穩定或被卡住轉不動的。

六、臺式勻膠機旋涂儀常見故障排除

下列故障非本機故障，用戶可參考自行解決，若仍不能排除故障，請及時本公司：

七、臺式勻膠機旋涂儀安全注意事項

拆開包裝后，請按照裝箱單詳細檢查配件，如有缺失，請聯系銷售商。注意必須將所有包裝和泡沫墊卸下，否則有可能因熱量不易散發或受到其它外界因素的影響引起火災。

操作前請詳細閱讀本說明全部內容，并嚴格按照要求依次進行操作。若用戶因不規范操作或違規操作而導致的人身傷害事故、儀器損害、財產損失，制造商將不予承擔。

(1) 安置本儀器的桌（臺）面應堅實平整，四只橡膠腳墊應與桌（臺）面平穩接觸，否則會產生儀器不平穩，從而導致超標準的震動，致使器件損傷或儀器停止運行。

(2) 儀器工作時，操作人員不得倚靠在儀器上，非工作人員不得在非安全空間內逗留，勻膠機周圍不得放置危險物品。

(3) 所甩樣片的尺寸要大于吸附盤有效尺寸2-3mm左右，如果用大吸附盤甩小的樣片就會產生漏氣，同時造成膠被吸入抽氣室，導致氣路堵塞。

(4) 如果不慎膠被吸入了抽氣室，要立刻進行清洗，否則吸附盤、光電盤、電機軸會黏在一起，造成電機轉不動，拆卸亦很困難。

(5) 氣路堵塞或氣泵損壞時電機也可運轉產生飛片，故在啟動電機前須確認氣泵的狀況良好及吸片確已吸住。

(6) 儀器出現故障應及時與銷售商或廠家聯系，切勿自行打開機殼。嚴禁非專業人員維修，維修時必須先拔下電源插頭，防止事故發生。

八、臺式勻膠機旋涂儀裝箱清單

無油真空泵技術參數無油真空泵：又稱干式真空泵，是泵的工作腔內沒有任何介質，可以原汁原味的回收氣體。

? 型號：AP-550V 

? 抽速：1.5 升/秒 

? 功率：320W 

? 噪音：58db 

? 電壓、頻率：~220V/50HZ 

? *真空度：-700mmHg 

? 重量：5.8kg 

? 外形尺寸：240×130×200mm