微小氣體質量流量計采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優勢的MEMS氣體質量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
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一、 產品概述采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
該產品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。
二、 技術參數
2.1 測量介質：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）
2.2 流量范圍：DN3 10-100ml/min
100-1000ml/min
DN4 250-2500ml/min
DN6 1000-10000ml/min
DN8 1500-15000ml/min
DN10 2500-25000ml/min
DN18 10-100SLM
注：(a)以上流量的測量介質為空氣而言;
(b)以上流量的標準狀態20℃，101.325kPa。
(c) 每個口徑量程范圍均可擴大
(d)特殊需要可聯系廠家單獨標定
2.3 流量測量準確度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4 工作溫度范圍：0-55℃；
2.5 工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6 供電電源：24VDC±10%；
2.7 輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
2.8 環境溫度：0-55℃；
2.9 顯示位數：瞬時流量為三位，累積流量10位。
