E-Square常壓電漿清洗設備
儀器簡介:
應用:
◆半導體及相關領域。
技術參數(shù):
E-Square公司致力于提供專業(yè)的電漿(Plasma)清洗解決方案,公司生產(chǎn)的常壓電漿清洗設備以其專業(yè)可靠的品質(zhì)贏得了市場的一致認可。
主要特點:
◆無塵;
◆低溫處理(基板上升溫度:常溫~5℃);
◆無傷害(與UV燈處理相同程度) ,已申請專利;
◆無靜電放電(處理后的ESD值為0~50V以內(nèi),由于正、負離子的產(chǎn)生,故處理前不需要負離子空氣凈化器裝置);
◆2年內(nèi)免維修(2年一次的點檢作業(yè));
◆小型、重量輕;
◆裝置稼動率99.5%以上;
◆反應裝置的部分幾乎可使用