
◆去有機物(post etch clean)
◆去光刻膠
◆襯底清洗
◆高壓剝離
◆凸塊Flux removal
技術參數:
Rhetech為半導體濕法工藝設備制造商Semitool公司的全資子公司,專業銷售翻新的SEMITOOL SST(去膠機),提供全面的保固和、升級和備件服務,并且提供專業制程和應用培訓與咨詢,在半導體和砷化鎵領域得到廣泛應用和客戶的好評。
主要特點:
◆SEMITOOL的噴霧式技術;
◆可靈活選擇多種藥液的輸送方式;
◆占地面積小,節省凈化間空間;高產能;
◆工藝的高穩定性和可重復性;
◆半自動全封閉工藝腔帶給您安全的操作環境;
◆藥液可循環回收利用以節省運行成本。