產品介紹
NX-20具有形貌表征能力,設計使其保證了掃描的高精確度和數據的高重復性。高度自動化的軟硬件,避免了人為操作的失誤和誤差,提高了工作效率測量,降低了勞動強度。該儀器具備高速的伺服響應能力,高掃描器線性度,低閉環檢測器噪聲水平,和低系統熱漂移量。
為企業研發實驗室設計的精確AFM工具
精確測量不同基材的粗糙度
缺陷觀察及分析
高分辨電學掃描模式
可高精度觀察側壁的3D掃描模式
提高檢測的重復性和高效率
真正的非接觸掃描保護了探針,提高了掃描精確度
非接觸模式下的掃描速度
雙反饋XY掃描器實現了3D掃描
優化的散熱部件
低噪音檢測器保證了精確的形貌測量
位移檢測器保證了形貌掃描的精確性
沒有壓電蠕變效應引起的邊緣超調誤差
高速掃描過程中的精確高度測量
正反測量偏離量,小于0.15%