博思發科技公司的PVC1000系列MEMS微型皮拉尼真空傳感器提供了突破性的真空測量解決方案,不但體積小,而且具有超低功耗、長壽命、低現場維護和低成本的優點。依據氣體熱導率與低真空范圍的壓力成正比的原理,博思發科技公司的微型皮拉尼真空傳感器測量加熱元件電阻值的微小變化,這一變化產生的原因是熱量傳遞到周圍氣體而引起的溫度改變,與氣體熱導率相關。加熱元件(測量電阻)由位于絕熱膜上的鉑薄膜電阻構成。絕熱膜懸浮在一個微加工的空腔上,空腔底部表面與絕熱膜平行,以確保精準測量熱導率。因為只需要少量氣體(腔內體積)就可以實現高精度的測量,所以博思發科技公司的微型皮拉尼真空傳感器具有超低功耗和快速響應時間。傳感器芯片上有一個參考電阻,具有與測量電阻相同的溫度系數(TCR),可用來做環境溫度補償。博思發科技公司采用MEMS技術生產的微型皮拉尼真空傳感器,在小型化的同時,實現了高可靠性、低成本、使用方便和超低功耗,PVC1000系列產品已成為行業標準。采用PVC1000系列傳感器可以幫助客戶改進現有產品并開發出創新產品。