熱式氣體質量流量計以科氏力為基礎，在傳感器內部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅動線圈，兩端裝有拾振線圈，變送器提供的激勵電壓加到驅動線圈上時，振動管作往復周期振動，工業過程的流體介質流經傳感器的振動管，就會在振管上產生科氏力效應，使兩根振管扭轉振動，安裝在振管兩端的拾振線圈將產生相位不同的兩組信號，這兩個信號差與流經傳感器的流體質量流量成比例關系。計算機解算出流經振管的質量流量。不同的介質流經傳感器時，振管的主振頻率不同，據此解算出介質密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測量介質的溫度。
成都松盛測控技術有限公司推出的DC-M100數字通訊的中大流量規格熱式氣體質量流量控制器/質量流量計，為滿足用戶對產品的要求，松盛測控的全系列熱式氣體質量流量控制器/質量流量計均采用進口產品標準標定，產品可與進口熱式氣體質量流量控制器/質量流量計直接對標。廣泛應用于SPUTTER磁控濺射臺、等離子刻蝕、石油化工、高校實驗室、科研單位、航空航天、光伏行業、半導體行業、真空鍍膜行業、光電產業到工業工具的表面鍍膜、PVD、CVD、MOCVD、氧化、離子注入、精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、食品及制藥產業、氣相色譜儀等相關行業。
熱式氣體質量流量計DC-M100數字通訊的中大流量規格熱式氣體質量流量控制器/質量流量計產品的正常工作壓力范圍可達：10MPa（100Bar），供電方式為+14V—﹢27V的寬頻供電，能滿足市面上絕大多數用戶的使用要求和使用習慣。產品精度優于±1%F.S，響應速度優于2秒且流量值穩定速度也是極快的。閥體過流材質均選用品質良好的316L不銹鋼。DB9針的電氣接頭，也方便了用戶在使用時的拆裝。具有響應速度快、準確度高、穩定的流量控制、寬壓力范圍、優良的耐腐蝕性和出色的線性度等優點，能監測和控制各種惰性氣體及部分具有腐蝕性的氣體。
