差壓式與熱式質量流量計的性能對比
差壓式與熱式質量流量計的性能對比
V10FC系列氣體質量流量控制器/流量計(以下稱MFC/MFM)通過測量層流元件的差壓、壓力、溫度來計算流量，這種測量方式具有固有的線性,重復性好,高精度,無需預熱,溫漂小等特點。本產品可以同時測量4種參數：氣體的瞬時流量、累計流量、溫度和絕壓，并且可以同時顯示和輸出。
雖然傳統的熱式原理不需經過溫壓補償即可以直接測量氣體的質量流量,但是熱式原理產品具有先天性的缺陷：長期加熱的工作模式產生的熱漂移,反應速度慢等缺點是不可避免的,而采用差壓原理的MFC/MFM幾乎無零點和溫度漂移,反應速度快,無需預熱,上電即可操作,解決了長期困擾客戶的問題。目前，一些的熱式流量計廠家正在紛紛開發差壓式質量流量計。
Sailsors研發和生產差壓式質量流量產品已有十余年的歷史，廣泛應用于各類需精確檢測和控制氣體流量的設備上。本資料中的V10FC系列是Sailsors根據市場需求推出的以高精度和多功能為特色的普及型產品。
差壓式與熱式質量流量計的原理性能對照表
指標 | V10FC差壓式原理 | 傳統熱式原理 |
原理 |
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傳感器 | 溫度、壓力、差壓三支傳感器 | RTD或熱電偶 |
響應時間 | MFM:10毫秒MFC:100毫秒 | 0.8～10秒 |
顯示屏 | 標準內置 | 外部二次儀表 |
預熱 | 無需預熱 | 15～30分鐘 |
熱漂移 | 無 | 有 |
累計流量 | 標準內置,不限顯示位數 | 外部二次表,限位數顯示 |
輸出信號 | 質量流量、體積流量、溫度、壓力 | 質量流量 |
轉換系數 | 無需轉換系數直接得出質量流量 | 引用進口產品氣體轉換系數 |
氣體測量 | 測量空氣氮氣以外的氣體時，轉換系數準確 | 測量空氣氮氣以外的氣體時，轉換系數不準確 |
精度 | ±0.8%讀數,±0.4%可選 | ±1～2%F.S |
長期穩定性 | ±0.1%F.S/年 | 無明確指標 |
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