Agilent TwisTorr 704 FS 高真空渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動技術和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經濟性。TwisTorr 拖動技術對小分子氣體(如氫氣和氦氣)能提供高壓縮比,從而實現大抽氣量和高前級耐壓,進而能使用更經濟實惠、更小型的前級泵。該技術使得轉子能采用緊湊的設計,變得高效節能,并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統降低了噪音和振動,并能保證穩定的軸承工作條件,從而能延長工作壽命,減少系統停機時間,并能確保長時間穩定的抽氣性能。TwisTorr 704 FS 泵的軸承和干式潤滑劑設計,使得泵無需泵油和維護,能夠以任意方向安裝。可選擇一體式控制器或機架控制器。
特性:
創新的 TwisTorr 技術 — 對小分子氣體的高壓縮比實現了高性能和小系統占用空間。
高前級耐壓 — 允許使用更小的前級泵,從而降低了系統成本和尺寸。
安捷倫懸浮軸承系統 — 低振動、低噪音和更好的軸承工作條件可延長泵的使用壽命,從而實現使用維護成本優化,減少系統停機時間,并保證長時間穩定的抽氣性能。
的軸承和干式潤滑劑 — 免維護、免油,實現任意角度安裝。
“三維”泵控制軟件使靈活性、速度和簡便性達到,可在泵的操作條件下達到更好通量和壓縮性能。
典型渦輪泵應用
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設計旨在實際應用中達到更高性能。泵的緊湊型設計滿足工業中的嚴苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護,并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設備制造商,安捷倫均可針對您的應用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統。
典型渦輪泵應用:
領域 | 詳細說明 | 應用 |
質譜和分析儀器 |
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科研中的真空應用 |
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工業真空加工 |
| 薄膜沉積:
設備加工:
一般工藝:
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納米技術儀器 |
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性能指標:
抽速: | ISO 160/CF 8 英寸 | |
N2 He H2 Ar | 660 L/s 640 L/s 480 L/s 625 L/s | |
全轉速氣體流量(使用推薦的推薦前級泵)* | 環境溫度 (25 °C) | 水溫: (25 °C,50 L/h) |
He | 7.9 mbar L/s 467 SCCM | 10.4 mbar L/s 615 SCCM |
N2 | 4.3 mbar L/s 255 SCCM | 6.2 mbar L/s 367 SCCM |
Ar | 1.5 mbar L/s 89 SCCM | 3.3 mbar L/s 195 SCCM |
(*) 前級泵 11.6 m3/h | ||
壓縮比與前級耐壓關系* | ||
噪音壓力級別 (全速運行時距離 1 m 處)(磅): | 43 dB(A) |