Agilent HLD MR15 檢漏儀采用專用于檢測氦氣的質(zhì)譜儀，以氦氣作為示蹤氣體來定位和/或測量封閉設(shè)備或系統(tǒng)中的微小泄漏。移動式 HLD MR15 既是一款精密的儀器，也是一款耐用的主力儀器，具有簡便易用的觸摸屏界面和菜單結(jié)構(gòu)，便于用戶快速利用其強大的檢漏功能。內(nèi)置的應(yīng)用設(shè)置可縮短測試循環(huán)，可保存設(shè)置以確保重復(fù)性。四個輪子可輕松滾動到合適位置。MR15 包括 Agilent DS-302 旋片泵，抽氣速率為 15 m3/h，用于快速排空測試部件和系統(tǒng)，并在測試循環(huán)之間快速凈化環(huán)境氦氣。
特性：
- 六個不同的應(yīng)用設(shè)置向?qū)в兄谀鷮x器正確地配置以獲得更高性能，確保恰當(dāng)?shù)卦O(shè)置參數(shù)以便完整、有效地進行測試。
- 觸摸屏界面更大、更耐用且響應(yīng)更靈敏，能夠 180° 旋轉(zhuǎn)，非常便于查看。
- 更明確、更直觀的用戶界面。提供常用功能的快速訪問以及扁平的菜單結(jié)構(gòu)，方便您快速查找所需設(shè)置。
- 開機向?qū)軌驇椭脩粼诮油娫春髮x器進行設(shè)置。
- 增強的圖表功能：便于仔細(xì)檢查數(shù)據(jù)的放大模式、彩色標(biāo)記的設(shè)定值以及記錄泄漏速率和壓力的時間曲線。
- 更大的工作面積為需要測試的部件和工具等提供了充足的空間。
- 經(jīng)改善的關(guān)機程序能夠使檢漏儀處于真空環(huán)境并保護渦輪分子泵。
- 更強的機動性有助于更輕松到達(dá)半導(dǎo)體生產(chǎn)線或其他生產(chǎn)環(huán)境中狹窄的服務(wù)區(qū)域和范圍。
性能指標(biāo)：
| 初級泵和抽氣速率： | DS 302 旋片泵，15 m3/h |
| 可檢質(zhì)量數(shù)： | 4 |
| 氦氣抽氣速率： | 1.8 L/s |
| 靈敏度： | 5 × 10-12 mbar?L/s |
| 顯示范圍： | 10-4 至 10-11 |
| 測試口壓力： | 13 mbar |
| 無線遙控器 | |
| 支持八種語言： | 中文、英語、法語、德語、日語、韓語、俄語和西班牙語 |
| 模擬、RS232 和分離式 I/O 接口選項 |
