設備的主要功能
可測量各種精密機械零件的素線輪廓形狀參數，角度處理（坐標角度，與Z坐標的夾角，兩直線夾角）、圓處理（圓弧半徑，圓心到圓心距離，圓心到直線距離，交點到圓心的距離，直線到切點的距離）、點線處理（兩直線交點，交點到直線距離，交點與交點距離，交點到圓心的距離）、直線度、凸度、對數曲線、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、輪廓度、傾斜度、垂直距離、水平距離等形狀參數。
儀器測量原理
由高精密氣浮直線運動導軌,建立X坐標的高精密測量基準,Z坐標由電感傳感器構成,可以測量各種精密機械零件的素線形狀.本儀器由于基準直線運動采用精密氣浮導軌,故移動精度高、穩定性好、壽命長,而且運動靈活性好、直線性好、操作方便.運動距離采用進口光柵尺計量,X軸的尺寸坐標精確,數據采集及數據處理均采用計算機,故測試精度高、功能多,又可方便打印和存檔,為用戶帶來很大的方便。
設備的主要技術參數
X軸導軌移動直線度：≤0.3μm/60mm
示值誤差1（L=X軸導軌移動距離）：±（1.5+1.5L/100）μm
示值誤差2（H=Z軸方向測量高度）：±（1.2+13H/100）μm
可測范圍：X軸方向100mm；
Z軸方向（工件較大高度）300mm
傳感器量程：10mm(可增加到20mm)
分辨率/量程：1/65536
進口英國RENISHAW公司光柵尺：精度±2μm/100mm；分辨率1μm
數據采樣：精密直光柵觸發采樣1μm/點
綜合調整臺調整范圍：Y軸方向10mm，X軸水平可調±25度，Z軸回軸可調360度
工作壓力：0.35～0.43Mpa
氣源壓力：0.45～0.80Mpa
氣源流量：≥0.2 m3/min
電源：AC 220V±10% 50Hz
環境要求：溫度：10～30℃；相對濕度：＜85%
主機重量：約200Kg
主機尺寸：900mm×490mm×1400mm
