*合規：即也適用于復雜的基材輪廓，例如鋒利的邊緣、鉆孔或盲孔從層厚度約為 0.5 µm 時起就已經無針孔 (“pinhole-free”)?；瘜W不可溶并且耐抗諸多化學物質。 對濕氣和化學物質具有非常好的阻隔特性。 具有較高的介電擊穿強度。 具有干潤滑特性（較低的 摩擦系數）。 具有疏水性：H2O 的接觸角介于 92 ° 和 98 ° 之間。 在可見波長范圍內（取決于類型）的 90％ 到 96％ 之間是透明的。 具有生物相容性：可以沉積 C 和 N 型聚對二甲苯，可以根據 USP Class VI、 ISO 10993 和 FDA 進行認證。
Parylene類型：
1. 電子/傳感器技術
• 暴露在腐蝕性介質,濕度大或高輻射環境中的電子元器件。
• 安全要求較高的高質量裝置
• 延長LED,傳感器等重要電子器件的使用壽命
2. 醫療
• Parylene抵抗所有的體液的侵蝕-植入體
• 較低限度的磨損（優于聚四氟乙烯），具有優良的滑動性，易于插入支架、手術針和*
• 美國FDA認證可直接接觸食品
• 符合ISO 10993認證,科研的生物學特性和生物相容性
3. 航空航天
• 系統故障可能導致人員物資的損失，因而，必須努力為重要的部分采取盡可能的保護
• 符合航空及軍事標準（US MIL-I-46058C, UL listed, NBC AR 70/ AFR 80-38/ Navinst 3400.2）即使在其他領域也能提供高應力和安全性。
• 聚對二甲苯HT能以低漆膜厚度抵抗高能量輻射（重量體積比要求低）
4. 工業、設備
• 墊圈（o型環）的涂層能便于裝配（低摩擦系數），或提高壽命
• 光學元件的保護性和自潔式涂層
• 彈性體通常對臭氧、碳氫化合物、紫外線很敏感。聚對二甲苯能提供長期保護。
• 容器、藥水瓶、電子管的屏蔽涂料
| 主要技術參數 | 1. 控制系統: Windows Full PC控制系統 2.涂層厚度: 0.05 ~100 um 3.外形尺寸：W2700*D2600*1600mm: 4.裂解管功率及溫度: 4 kW / max. 850 °C 5.樣品艙：Φ700mm*H720mm 6.樣品臺：Φ600mm*H660mm 7.冷卻方式：液氮 8.真空泵系統：Leybold D60雙級油泵排氣速度63m3/h極限真空度0.5Pa |
- 選配：
涂層材料;Parylene N/Parylene C/Parylene D/Parylene F-VT4
冷卻：冷阱
耦合劑CVD
