高頻輸出：300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）
電極尺寸：250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）
適用于研究開發的小型等離子清洗機。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調取數據簡單，以電子材料為中心，可對應多種用途。
■ 用途
● CSP、BGA、COB基板的等離子清洗
● 去除有機膜和金屬氧化膜
● 印刷電路基板的干式清洗
● 界面活性處理
● LED封裝。
■ 特征
● DP模式（PDC510標配·PDC200/210選配）
● RIE模式
● 均勻性高的電極構造
● 操作簡單的觸摸屏控制器。
■ 規格
型號 | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
等離子模式 | RIE（DP模式選配） | RIE/DP | |
電極構造 | 平行平板（固定） | ||
高頻輸出 | Max300W | Max500W | |
頻率 | 13.56MHz | ||
控制·顯示 | 液晶觸摸屏 | ||
反應室尺寸 | W400×D250×H150mm | W500×D300×H200mm | |
電極尺寸 | W250×D170mm | W400×D200mm | |
反應室材質 | 鋁 | ||
反應氣體 | 2系統（Ar、O2） | ||
填充氣體 | N2或干燥空氣 | ||
反應氣體流量控制 | 流量計 | 聚合控制器 | |
真空泵 | 另行選配 | 油泵（約345L/分）標配 | 油泵（約500L/分）標配 |
氣體導入口 | 反應氣體2個、填充氣體1個 | ||
外形尺寸 | W540×D600×H600mm | W540×D600×H600mm | W700×D700×H1285mm |
重量 | 約100kg | 約105kg | 約180kg |
電源 | 單相 AC100V 10A | 三相AC200V 6A | 三相AC200V 8A |
