主要特性與技術指標
電流－電壓測量功能
- 0.1 fA – 1 A 和 0.5 µV – 200 V 精準測量范圍
- 點測量和掃描測量功能
- 脈沖點測量和掃描測量，最小脈寬達 500 µs
- ASU（自動傳感和開關單元）可以與 HRSMU 配合使用，提供 0.1 fA 的測量分辨率和 SMU/AUX 路徑切換
EasyEXPERT group+ 軟件
- 表征環境可以在用戶 PC 上使用
- 直觀的圖形用戶界面（GUI）操作，支持鍵盤和鼠標
- 多種測量模式，實現快速設置和測量執行（應用測試、典型測試和快速測試）
- 圖形顯示和自動分析功能，能夠生成數據并導入 Excel 和圖像以便分析和報告
E5270B 硬件
- 測量模塊可升級至 8 插槽配置
- 可選擇高分辨率 SMU（HRSMU）、中等功率 SMU（MPSMU）和大功率 SMU（HPSMU）進行配置。支持選件 ASU 用于 HRSMU
- 高分辨率和高速模數轉換器（ADC）可以用于所有已安裝的模塊
- 主機中配備有源接地單元（GNDU），以施加 0 V 電壓和吸收高達 4 A 的電流
描述
Keysight E5270B 精密型 IV 分析儀是適合對各種材料和器件進行電流－電壓表征的完整解決方案。E5270B 支持多個 SMU（電源/監測單元），能夠執行電壓/電流供應和電壓/電流測量，且具有最小 0.1 fA 的電流測量性能。其模塊化體系結構使您可以利用 8 個插槽配置或升級 SMU 模塊。圖形用戶界面的 EasyEXPERT group+ 表征軟件可以安裝在您的 PC 上，以支持表征中要求的所有任務，例如測量設置和數據分析。SMU 全面的測量功能與 GUI 表征軟件強強組合，使 E5270B 成為表征和測試器件、材料、半導體、有源/無源器件或幾乎任何其他類型電子器件的解決方案，并且提供的測量可靠性和效率。
Keysight EasyEXPERT group+ 軟件支持在整個表征過程中（從測量設置和執行到結果分析和數據管理），通過交互式的手動操作或借助半自動晶圓探頭的自動操作，在整個晶圓上實施高效和可重復的器件表征。EasyEXPERT group+ 配備了許多易于使用的測量（應用測試），使您可以快速而輕松執行電流－電壓表征，并可以選擇在每次測量結束后將測試條件和測量數據自動保存到的內置數據庫（工作區）中，以確保不會遺失重要的信息和在日后能夠重復執行該測量。憑借這些全面的測量功能，Keysight E5270B 提供了一款完整的電流－電壓表征解決方案。
除了用作分析儀之外，E5270B 還可以作為系統組件 SMU 在機架和插拔式（stuck）測試系統中使用。它為電流－電壓測量提供了業界的可擴展性和的測量精度。您可以用支持強大測量功能的 FLEX 命令集對它進行遠程控制。
