
基質輔助脈沖激光蒸發(MAPLE)是PLD的一種變體。這是由NRL集團引入的,以促進某些功能有機材料的薄膜沉積?;赨V (5-6 eV)的傳統PLD技術可能不適用于這種情況,因為光化學反應可能會惡化有機分子、聚合物等的功能。在MAPLE中,通過將待沉積的有機物(或聚合物)與吸收激光波長的溶劑(基質)混合來制備特殊的靶。除了光學吸收外,在沉積條件下的高蒸氣壓是基質的先決條件。然后用液氮冷卻液體目標物,使其凍結為固體。激光輻射主要被目標的高揮發性、冷凍的溶劑(基質)分子吸收,這些分子隨后從固體目標中脫離,捕獲和帶走感興趣的有機分子。在它們向基片傳輸的過程中,高揮發性的基質分子被抽走,將有機分子輸送到基片上沉積薄膜。
脈沖激光沉積(Pulsed Laser Deposition)是一種用途廣泛的薄膜沉積技術。脈沖激光快速蒸發靶材,生成與靶材組成相同的薄膜。PLD 的*之處是能量源(脈沖激光)位于真空室的外面。這樣,在材料合成時,工作壓力的動態范圍很寬,達到10-10 Torr ~ 100 Torr。通過控制鍍膜壓力和溫度,可以合成一系列具有*功能的納米結構和納米顆粒。