光源產生穩定的160-400nm的輸出光譜。其峰-峰穩定性小于0.005%,漂移僅為+/-0.5%每小時。
主要特點:
深紫外覆蓋。覆蓋范圍是160-400nm。
性能。峰-峰穩定性小于0.005%的超級穩定光源輸出。
主要應用:
半導體檢測、薄膜厚度測量、靜電去除器、光譜學、環境計量、
光學元件檢測、材料抗紫外性測試和激發光源等。
光學系統:
光譜數據:
光譜曲線1(MgF2窗口)
光譜曲線2(硅、紫外玻璃)
光穩定性
技術參數:
功率: | 830 mA @ 230 VDC |
波長范圍: | 190-400 nm (深紫外燈) |
峰-峰穩定性: | <0.005% at 230 nm |
漂移: | +/-0.5% per hour at 230 nm |
40 分鐘 | |
電壓和電流: | Ignition 350V/20 A operating 85 V/0.3A |
燈泡壽命: | 1,000 小時 |
工作溫度: | 5 ℃ - 35 ℃ |
濕度: | 5-95%無冷凝 40 ℃ |
輻射特性: | 0.5mm縫,數字狹縫26度(13度) |
紫外氘燈光源
紫外氘燈光源