詳細(xì)介紹
Micro LPC-101 HP 粒子計(jì)數(shù)器以管線氣壓采集加壓惰性氣體樣本。 本款粒子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可將數(shù)據(jù)輸出至外接打印機(jī)或 電腦。好處
· 降低成本
· 制程氣體分配系統(tǒng)快速達(dá)標(biāo)
· 監(jiān)測(cè)氣體中的粒子變化，以防影響產(chǎn)量
· 系統(tǒng)配置兩套設(shè)備：采樣傳感器和數(shù)據(jù)系統(tǒng)
· 改善制程控制
· 規(guī)格驗(yàn)證
· 檢測(cè)制程干擾
· 量化系統(tǒng)變化造成的影響
· 精確測(cè)量粒徑
· Facility Net軟件的數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)具有全面的數(shù)據(jù)儲(chǔ)存、管理、報(bào)告、報(bào)警等功能
· 可靠性高
· 無(wú)源腔設(shè)計(jì)，無(wú)需頻繁維修保養(yǎng)
· 無(wú)需流體即可完成監(jiān)測(cè)，這是其它系統(tǒng)所不具備的優(yōu)點(diǎn)
· 以管線氣壓采集加壓惰性氣體樣本
應(yīng)用
· 氣體分配系統(tǒng)規(guī)則達(dá)標(biāo)
· 監(jiān)測(cè)制程氣體
