氣體質量流量計 SFM5400
適用于多種應用的多功能流量計
SFM5400質量流量計具有的精度（誤差＜1%）、可重復性和長期穩定性，寬動態測量范圍。SFM5400由金屬制成，且高度可配置。它采用多種機械連接和電氣接口，可測量50 sccm和200 slm之間的流量。傳感器信號可在芯片上直接轉換成數字、*校準和溫度補償的信號。多個氣體校準可以存儲在一個器件中。此外，流量計可以檢查激活的氣體校準是否與實際存在氣體相匹配。SFM5400的通用性使它成為工業和醫療應用的理想解決方案。
SFM5400質量流量計的杰出性能基于創新的CMOSens® 技術，它在一個CMOS硅芯片上集成了高精度傳感元件和信號處理電路。結合優質材料，實現了一個持久穩定、快速和高精度的質量流量計。
SFM5400質量流量計是SFC5400質量流量控制器的無閥門版本。SFC5400質量流量控制器與質量流量計具有相同的性能特性，并適用于類似的應用，這兩個產品可以結合在一起。在SFC5400 網站，你可以找到關于質量流量控制器的進一步信息和詳細規格。
性能參數
- 高精度、低流量（< 1 sccm）
- 優良的精度/可重復性（分別為測量值的0.8% / 0.1%）
- 寬動態范圍（量程比1000:1）
- 多氣體和氣體識別
- 數字和模擬接口
- 柔性機械連接選項：down mount、VCR和VCO、Swagelok、C-/W-Seal等
- 高度可配置
- MTBF169年-無需再校準
應用
- 分析儀器（如氣相色譜、質譜、熱分析）
- 科研（如、）
- 工業過程自動化（如涂覆、熱處理）
- 半導體產業（如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積）
下載中心
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