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  • 3660系列 氣體質量流量控制器 質量流量計

3660系列 氣體質量流量控制器 質量流量計

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2025-02-15
  • 廠商性質代理商
  • 所在地區上海市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量118
  • 人氣值1091
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公司一貫堅持“質量,用戶*,優質服務,信守合同”的宗旨,憑借著高質量的產品,良好的信譽,優質的服務,產品全國近三十多個省、市、自治區。竭誠與國內商家雙贏合作,共同發展,共創輝煌!

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3660系列 氣體質量流量控制器
3660系列 氣體質量流量控制器 質量流量計 產品詳情
性能參數

3660.jpg


3660

3665

量程(N2)

10SCCM-20SLPM

30-150SLPM

精度

±1.0%FS

±1.5%FS

有效范圍

2-99%

5-99%

重復性

±0.5%FS

響應時間

2秒

3秒

動作壓差

50-300Kpa

150-300Kpa

另有低壓差、高壓差產品可選,

耐壓

1.0Mpa

泄漏率

1*10-8pa·m3/s以下

溫度范圍

5-45

濕度范圍

10-90%RH(不能結露)

材質

本體SUS316、SUS316L、磁性材料等

密封圈VITON,選配NBR或FKM

電氣接口

DB9

模擬信號

0-5V輸入/輸出

供電

+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)250mA;

管路連接

標配1/4F9

標配3/8F9

選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4

選配1/2F9、3/8UJR、RC3/8

重量

約1000g

約1500g


電氣連接

針腳/顏色

定義

1針腳/棕色

閥門全開/全閉

2針腳/白色

0-5V輸出

3針腳/紅色

+15VDC

4針腳/黑色

電源COM

5針腳/黃色

-15VDC

6針腳/灰色

0-5V輸入

7針腳/綠色

輸出COM

8針腳/蘭色

輸入COM

9針腳/紫色

閥門電源輸出


壓損、管路接口
使用注意

一:進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。

二:用肥皂水對管路進行泄漏檢測時,只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。

三:在使用質量流量控制器的時候,進口前方加“ON/OFF電磁閥或手動切斷閥”。

四:安裝前,請將設備管路進行整體吹掃。

五:通氣體時,請先開氣源,后設定值。

六:切勿在沒有通氣的情況下,對流量控制器進行設定a。

七:使用完以后,請將流量控制器值歸零或斷電。

八:需要進行零點漂移清零的時候,確認進/出口沒流量沒壓力下、設定值是0的狀態 再操作。

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