電容位移傳感器探頭
（標準規格的電容探頭以達到納米級別的分辨率并且有非常好的穩定性）
電容位移傳感器的應用
顯微鏡聚焦 ?鏡頭的對準 ?測量零件的外形 ?測量零件的傾斜 ?測量半導體硅片的厚度 ?測量壓電平臺的位移 ?測量振動 ?測量電腦硬盤運行和厚度 ?測量剎車盤的翹曲和厚度 ?測量金屬板的厚度 ?測量光伏晶圓
MTI 標準探頭的特點 ● 電纜和探頭使用的的溫度范圍: -130oC -- 200oC (也有高溫探頭，在下一頁有介紹) ● 精度: 高于滿量程的±0.02% （當探頭和放大器經過和被測物校準后） ● 標準放大器濾波帶寬: 500Hz ● 可選濾波帶寬 10Hz, 100Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz 以及 660Hz-Bessel ● 1分辨率 RMS: (0.000423 x 濾波帶寬 Hz + 1.2) x 0.00002 x 量程 ● 承受壓力范圍: 14MPa- (不適用于高溫探頭) ● 帶線纜的探頭，同軸電纜長度: 2.4m (可選延長線纜.) 型號 ASP-1-ILR 量程 2擴展量程 感度 感測直徑E 探頭直徑D 探頭長度L 最小范圍 µm 25.4 10 µm/V 2.54 mm 1.09 mm 2.36 mm 9.53 µm 1.270 ASP-2-ILR 50.8 10 5.08 1.55 2.84 9.53 2.540 ASP-5-ILR 127.0 10 12.70 2.49 3.96 9.53 6.350 ASP-10-ILR 254.0 10 25.40 3.53 5.54 9.53 12.700 ASP-20-ILR 508.0 4 50.80 5.00 7.92 9.53 25.400 ASP-50-ILR 1270.0 3 127.00 7.98 13.87 9.53 63.500 ASP-100-ILR 2540.0 2 254.00 11.25 25.40 9.53 127.000 ASP-200-ILR 5080.0 2 508.00 15.93 38.10 9.53 254.000 型號 ASP-25M-CTR 量程 2擴展范圍 感度 感測直徑E 探頭直徑D 探頭長度L 最小范圍 µm 25.4 10 µm/V 2.54 mm 1.09 mm 9.53 mm 25.40 µm 1.270 ASP-50M-CTR 50.8 10 5.08 1.55 9.53 25.40 2.540 ASP-125M-CTR 127.0 10 12.70 2.49 9.53 25.40 6.350 ASP-250M-CTR 254.0 10 25.40 3.53 9.53 25.40 12.700 ASP-500M-CTR 508.0 4 50.80 5.00 11.13 25.40 25.400 ASP-1250M-CTR 1270.0 3 127.00 7.98 15.88 25.40 63.500 ASP-2500M-CTR 2540.0 2 254.00 11.25 25.40 25.40 127.000 產品型號 ASP-1-ILA 量程 2擴展范圍 感度 感測直徑E 探頭直徑D 探頭長度L 最小范圍 µm 25.4 10 µm/V 2.54 mm 1.09 mm 2.36 mm 9.53 µm 1.270 ASP-2-ILA 50.8 10 5.08 1.55 2.84 9.53 2.540 ASP-5-ILA 127.0 10 12.70 2.49 3.96 9.53 6.350 ASP-10-ILA 254.0 10 25.40 3.53 5.54 9.53 12.700 ASP-20-ILA 508.0 4 50.80 5.00 7.92 9.53 25.400 ASP-50-ILA 1270.0 3 127.00 7.98 13.87 9.53 63.500 ASP-100-ILA 2540.0 2 254.00 11.25 25.40 9.53 127.000 ASP-200-ILA 5080.0 2 508.00 15.93 38.10 9.53 254.000 型號 ASP-0.5-CTA 量程 2擴展范圍 感度 感測直徑E 探頭直徑D 探頭長度L 最小范圍 µm 12.7 20 µm/V 1.27 mm 0.74 mm 6.35 mm 63.50 µm 0.635 ASP-25M-CTA 25.4 10 2.54 1.09 6.35 63.50 1.270 ASP-50M-CTA 50.8 10 5.08 1.55 6.35 63.50 2.540 ASP-125M-CTA 127.0 10 12.70 2.49 6.35 63.50 6.350 ASP-250M-CTA 254.0 10 25.40 3.53 6.35 63.50 12.700 ASP-500M-CTA 508.0 5 50.80 5.00 11.10 63.50 25.400 ASP-1250M-CTA 1270.0 3 127.00 7.98 15.88 63.50 63.500 ASP-2500M-CTA 2540.0 2 254.00 11.2,5 25.40 63.50 127.000 ASP-5000M-CTA 5080.0 2 508.00 15.93 38.10 101.60 254.000 ASP-500-CTA 12700.0 1 1270.00 25.22 82.55 101.60 635.000 型號 ASP-1-PCA 量程 2擴展范圍 感度 感測直徑E 探頭直徑D 探頭長度L 最小范圍 µm 25.4 10 µm/V 2.54 mm 1.09 mm 2.36 mm 2.54 µm 1.270 ASP-2-PCA 50.8 10 5.08 1.55 2.84 2.54 2.540 ASP-5-PCA 127.0 10 12.70 2.49 3.96 2.54 6.350 ASP-10-PCA 254.0 10 25.40 3.53 5.54 2.54 12.700 ASP-20-PCA 508.0 4 50.80 4.98 7.92 2.54 25.400 ASP-50-PCA 1270.0 3 127.00 7.98 13.87 2.54 63.500 ASP-100-PCA 2540.0 2 254.00 11.25 25.40 2.54 127.000 508.0 型號 ASP-1-PCR 量程 2擴展范圍 感度 感測直徑E 探頭直徑D 探頭直徑L 最小范圍 µm 25.4 10 µm/V 2.54 mm 1.09 mm 2.36 mm 2.54 µm 1.270 ASP-2-PCR 50.8 10 5.08 1.55 2.84 2.54 2.540 ASP-5-PCR 127.0 10 12.70 2.49 3.96 2.54 6.350 ASP-10-PCR 254.0 10 25.40 3.53 5.54 2.54 12.700 ASP-,20-PCR 4 50.80 4.98 7.92 2.54 25.400 ASP-50-PCR 1270.0 3 127.00 7.98 13.87 2.54 63.500 ASP-100-PCR 2540.0 2 254.00 11.25 25.40 2.54 127.000 ASP-200-PCR 5080.0 2 508.00 15.93 38.10 5.08 254.000 ● 連接頭的使用溫度范圍: -65oC -- 85oC
● 探頭和電纜互換性: ± 0.5%（在沒有經過校準的情況下互換）
● 材料: 不銹鋼結構,內部沒有電子元器件
