幾大系列：功能材料電學綜合測試系統、絕緣診斷測試系統、高低溫介電溫譜測試儀、極化裝置與電源、高壓放大器、PVDV薄膜極化、高低溫冷熱臺、鐵電壓電熱釋電測試儀、絕緣材料電學性能綜合測試平臺、電擊穿強度試驗儀、耐電弧試驗儀、高壓漏電起痕測試儀、儲能材料電學測控系統、壓電傳感器測控系統等

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半導體參數測試儀與MM探針臺半導體參數測試儀與MM探針臺支持二極管、三極管、MOS管等半導體器件以及材料的直流電流-電壓(I-V)測量，準靜態和中頻電容-電壓(C-V)測量，時域測量等

半導體參數測試儀與MM探針臺產品詳情

Agilent BA1500半導體參數測試儀與MM探針臺

主要技術指標

探針臺：

1.探針臺主機：卡盤XY運動范圍200mm*200mm,Z軸運動范圍25mm

2.絲桿軸承確保高精度移動，分辨率3.5um

3.針座：精度0.7um

4.加熱臺: 溫度范圍室溫-400℃

半導體參數測試儀

1.直流I-V測試：

具有4路SMU，其中2路中等功率SMU，2路高分辨率SMU, 可同時測量zui小電壓分辨率0.5μV、zui小電流分辨率0.1fA

2.C-V測試：頻率1KHz-5MHz；偏置電壓：±25V；測量精度±0.2 %

3.可實現C-V和I-V測量間自動切換，不會影響測量精度

4.脈沖IV：

提供兩路快速IV/脈沖輸出，具有任意波形產生功能

zui小脈沖寬度：50ns；脈沖電平范圍：-5V~+5V，+/-10V~0V (50 Ω負載)；電壓測量精度：±0.1%讀值, ±0.1% 量程；電流測量精度：±0.1% 讀值, ± 0.2% 量程

主要用途

支持二極管、三極管、MOS管等半導體器件以及材料的直流電流-電壓(I-V)測量，準靜態和中頻電容-電壓(C-V)測量，時域測量等。

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