特征：
? 高精度觸針型CNC表面測(cè)量?jī)x可以同時(shí)進(jìn)行表面粗糙度和形狀/輪廓的測(cè)量。
? X1軸和Z2軸的大驅(qū)動(dòng)速度分別為40mm/s和200mm/s，可以高速定位，從而提高了多重輪廓/多工件測(cè)量的效率。
? X1 軸和Z1 軸上裝有三豐激光全息光柵尺，從而可以實(shí)現(xiàn)高分辨力的輪廓/ 形狀測(cè)量、表面粗糙度的批量測(cè)量。
? Z1軸檢出器采用主動(dòng)控制方式，減少Z1軸動(dòng)態(tài)測(cè)力變化的同時(shí)擴(kuò)展了測(cè)量范圍。
? Z1軸檢出器集成了防碰撞安全裝置，當(dāng)儀器主體與工件或夾具發(fā)生碰撞時(shí)，檢測(cè)裝置可以自動(dòng)停止工作。
? CS-5000CNC帶有a軸，可以通過(guò)電動(dòng)旋轉(zhuǎn)X1軸連續(xù)測(cè)量水平面和傾斜面。
? 帶有Y軸工作臺(tái)的型號(hào)，可沿Y軸進(jìn)行多工件定位，從而增加了多工件測(cè)量范圍。
? 可選的外部控制功能(外部I/O)，與PLC實(shí)現(xiàn)雙向通信(RS-232C)。
| 貨號(hào) | CS-5000CNC | CS-H5000CNC | ||
| X1 軸 | 測(cè)量范圍 | 200mm | ||
| 分辨力 | 0.00625µm | |||
| 長(zhǎng)度基準(zhǔn) | 激光全息測(cè)微計(jì) | |||
| 驅(qū)動(dòng)速度 | CNC型 | 大40mm/s | ||
| 操縱桿 | 0 - 40mm/s | |||
| 測(cè)量速度 | 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形狀/輪廓) | |||
| 測(cè)量方向 | 向前/ 向后 | |||
| 直線度 | (使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針) | (0.1+0.0015L)µm L: 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm) | (0.05+0.0003L)µm L: 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm) | |
| (使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針) | (0.2+0.0015L)µm L: 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm) | (0.1+0.0015L)µm L: 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm) | ||
| 精度 (20oC) | ±(0.3+0.002L)µm L: 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm) | ±(0.16+0.001L)µm L: 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm) | ||
| Z1 軸 (檢出器) | 測(cè)量范圍 | (使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針) | 12mm | 12µm |
| (使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針) | 24mm | 24µm | ||
| 分辨力 | (使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針) | 0.004 µm | 0.001 µm | |
| (使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針) | 0.008 µm | 0.002 µm | ||
| 測(cè)針針尖垂直運(yùn)動(dòng) | 弧形移動(dòng) | |||
| 長(zhǎng)度基準(zhǔn) | 激光全息測(cè)微計(jì) | |||
| 精度 (20oC) | (20oC) ±(0.3+|0.02H|)µm H: 測(cè)量高度 (mm) | ±(0.07+|0.02H|)µm H: 測(cè)量高度 (mm) | ||
| 測(cè)力 | (使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針) | 4mN (固定) | ||
| (使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針) | 0.75mN(固定) | |||
| 跟蹤角度 | 向上: 60o, 向下: 60o, (根據(jù)表面粗糙度) | |||
| 測(cè)針針尖形狀 | 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針 | 針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5µm, 金剛石針尖 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)球頭測(cè)針 | 球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍(lán)寶石 2倍測(cè)針 | |||
| 2倍測(cè)針 | 針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5µm, 金剛石針尖 | |||
| 2倍測(cè)針 | - | 針尖角度: 60o, 針尖半徑: 2µm, 金剛石針尖 2倍球頭測(cè)針 | ||
| 2倍球頭測(cè)針 | 球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍(lán)寶石 | |||
| 測(cè)針?lè)较?/span> | 向下 | |||
| Z2 軸 (立柱) | 行程范圍 | Z2 軸 (立柱, S 型) | 300mm | |
| Z2 軸 (立柱, H 型) | 500mm- | |||
| 分辨力 | 0.05µm | |||
| 長(zhǎng)度基準(zhǔn) | 反射型線性編碼器 | |||
| 驅(qū)動(dòng)速度 | CNC型 | 大200mm/s | ||
| 操縱桿 | 0 - 50mm/s | |||
| 基座尺寸 (W×D) | 750×600mm | |||
| 基座材料 | 花崗巖 | |||
注:雖然天然石材測(cè)量桌的外觀各有不同，但材料的穩(wěn)定性是值得信賴的。
