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| 功能說明： | |||||||||
| ● 配氣精度高（可達±0.5%），并且線性誤差小； ● 配氣操作簡便，配氣效率高； ● 配氣重復性好，不受人為因素干擾； ● 所配氣體均勻性好，可立即使用； ● 因使用質量流量控制器控制流量，在氣體壓力、溫度變化的情況下，流量依然穩(wěn)定，確保了所配標準混合氣體的精度； ● 所有配氣方案可修改、刪除、保存，大大方便了重復性配氣工作； ● 本系統(tǒng)軟件采用中文WINDOWS做為工作平臺，操作界面友好，并具備針對配氣方案的定制、執(zhí)行工作中的實時監(jiān)控功能，使配氣操作更規(guī)范、更準確； ● 高壓氣體管路安裝有高壓安全閥，如壓力過大（一般設定為16Mpa），可自動卸壓； ● 所有殘氣均通過專門氣體管路向室外排空，避免配氣工作間的空氣受到污染。 | |||||||||
| 技術參數(shù)： | |||||||||
| ● 還原氣體成分（V/V）：30%CO+70%N2； ● 還原氣體流量(L/min):12； ● 配氣精度：±0.2%； ● 預熱時間：＜15min； ● 氣體流量重復精度：±0.2%F.S ； ● 氣體流量響應時間：1～4sec； ● 氣瓶： 40L鋼瓶的N2、CO； N2純度%(V/V:≥99.99； CO純度%(V/V:≥99.50 ● 使用環(huán)境溫度：5～45℃； ● 電源：220VAC 50/60Hz，10KW。 | |||||||||
