設備名稱 | 催化再生式氬氣純化器 | |
設備型號 | CZA-4N | |
處理量 | ≤4Nm3/h | |
原氣 要求 | 純度 | 氬氣純度≥99.99% |
雜質含量 | O2<1000ppm;H2O<1000ppm;N2<200ppm | |
輸出 純氣 | 純度 | >99.9999% |
雜質含量 | O2≤0.5ppm; H2O≤1ppm(即露點≤-76℃); N2≤1ppm CO+CO2≤0.1ppm; 塵埃粒子數(≥0.3um)3~5個/升 | |
工作壓力 | ≤1.0Mpa | |
電 源 | 220V/50Hz/10A 2.4Kw | |
設備外形尺寸 | 470mm×660mm×1220mm | |
設備重量 | 150Kg | |
備 注 | 此純化器可以除去氬氣中的氮、氧、水等雜質。 |